[发明专利]用于高反射镜子的增强、耐用银涂层堆叠

摘要

本发明涉及高反射多波段镜子，其在VIS‑NIR‑SWIR‑MWIR‑LWIR波段是反射性的，所述镜子是完全薄膜堆叠，其是由选定基材上的多层构成的。从基材到最后层的顺序，镜子由(a)基材、(b)阻隔层、(c)第一界面层、(d)反射层、(e)第二界面层、(f)调整层和(g)保护层构成。多波段镜子比现有的设计用于类似应用的轻量化金属基材(例如，6061‑Al)上的镜子更为耐用。在每种5层类型中，采用方法和材料来加工每种层，从而实现所需的层特性，这有助于增强堆叠的耐用性能。

主权项

1.一种用于0.4‑15μm波长范围的高反射镜子，所述镜子包括：基材，其选择下组：熔融二氧化硅、钻石车削的铝合金、镁合金和钛合金；所述基材的顶部上的阻隔层，阻隔层材料厚度为100nm至50μm，所述阻隔层选自下组：Si3N4、SixNyOz、SiO2、TiAlN、TiAlSiN、TiO2和DLC；所述阻隔层的顶部上的第一界面层，所述第一界面层的厚度为0.2‑25nm，并且所述第一界面层选自下组：Al2O3、TiO2和ZnS，以及金属材料Ni、Ni‑Cu、Ti和Pt，前提是当所述第一界面层是金属层时，所述第一界面层的厚度为0.2‑2.5nm，当所述第一界面层是金属氧化物或硫化物时，所述第一界面层的厚度大于2.5nm；所述第一界面层的顶部上的反射层，所述反射层的厚度为80‑350nm，所述反射层是选自下组的材料：Ag、Au、Al和Ni；所述反射层的顶部上的第二界面层；以及所述第二界面层的顶部上的选自下组的一种：(i)厚度为75‑300nm的至少一层调整层以及所述调整层的顶部上的厚度为60‑200nm的至少一层保护层，以及(ii)由调整层和保护层整合成的单层结构，该单层结构的厚度为150‑300nm；对于AOI 45°，所述镜子在0.4‑1.8μm和3‑15μm的波长范围具有至少96％的反射率。