[发明专利]用于高反射镜子的增强、耐用银涂层堆叠

权利要求书

1.一种用于0.4-15μm波长范围的高反射镜子，所述镜子包括：

基材，其选择下组：熔融二氧化硅、钻石车削的铝合金、镁合金和钛合金；

所述基材的顶部上的阻隔层，阻隔层材料厚度为100nm至50μm，所述阻隔层选自下组：Si₃N₄、Si_xN_yO_z、SiO₂、TiAlN、TiAlSiN、TiO₂和DLC；

所述阻隔层的顶部上的第一界面层，所述第一界面层的厚度为0.2-25nm，并且所述第一界面层选自下组：Al₂O₃、TiO₂和ZnS，以及金属材料Ni、Ni-Cu、Ti和Pt，前提是当所述第一界面层是金属层时，所述第一界面层的厚度为0.2-2.5nm，当所述第一界面层是金属氧化物或硫化物时，所述第一界面层的厚度大于2.5nm；

所述第一界面层的顶部上的反射层，所述反射层的厚度为80-350nm，所述反射层是选自下组的材料：Ag、Au、Al和Ni；

所述反射层的顶部上的第二界面层；以及

所述第二界面层的顶部上的选自下组的一种：

(i)厚度为75-300nm的至少一层调整层以及所述调整层的顶部上的厚度为60-200nm的至少一层保护层，以及

(ii)由调整层和保护层整合成的单层结构，该单层结构的厚度为150-300nm；

对于AOI 45°，所述镜子在0.4-1.8μm和3-15μm的波长范围具有至少96％的反射率。

2.如权利要求1所述的镜子，其特征在于，所述熔融二氧化硅是氟掺杂的熔融二氧化硅，所述钻石车削的铝合金是钻石车削的6061-Al合金。

3.如权利要求1或2所述的镜子，其特征在于，所述镜子在0.4-1.8μm的波长范围上具有至少97％的反射率，以及对于AOI 12°，所述镜子在0.4-1.8μm的波长范围上具有大于98％的反射率。

4.如权利要求1或2所述的镜子，其特征在于，所述反射层是银，并且所述反射层的厚度为80-150nm。

5.如权利要求1或2所述的镜子，其特征在于，所述第二界面层选自下组：Nb₂O₅、SiO₂、TiO₂、Ta₂O₅、Bi₂O₃、ZnS、Al₂O₃和Si₃N₄-SiO₂-Si₃N₄，并且所述第二界面层的厚度是0.2-50nm。

6.如权利要求1或2所述的镜子，其特征在于：

在(i)中，所述调整层是选自下组的至少一种材料：YbF₃、Nb₂O₅、Yb_xF_yO_z、YF₃、GdF₃和Bi₂O₃；以及所述保护层是选自下组的至少一种材料：YbF₃、Yb_xF_yO_z、YF₃和Si₃N₄；以及

在(ii)中，所述单层结构的厚度为150-300nm，并且是选自下组的至少一种材料：Nb₂O₅、YbF₃、Yb_xF_yO_z、YF₃和Si₃N₄。