[发明专利]用于工件的热化学硬化的方法和设备有效
| 申请号： | 201480021323.7 | 申请日： | 2014-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN105143495B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | V·赫乌尔;K·罗瑟 | 申请（专利权）人： | ALD真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36;C23C8/34;C21D9/67;C21D9/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 冯奕 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于工件的热化学硬化的方法和设备，其中以可变的顺序包括：一个或多个渗碳步骤，均在压力小于50毫巴的含碳的气体气氛中实施，其中所述工件保持在900℃至1050℃的温度；任选地一个或多个扩散步骤，均在压力小于100毫巴的气体气氛中实施；和一个或多个渗氮步骤，均在压力小于50毫巴的含氮的放电等离子体中实施，其中所述工件保持在800℃至1050℃的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 工件 热化学 硬化 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.用于工件的热化学硬化的设备，它包含：－m个低压加热室，且m＝2、3、4、5、6、7、8、9或10；－与所述低压加热室相连的供气装置，设置所述供气装置用于为所述低压加热室提供一种或更多种气体，所述气体选自N2，选自C2H2、CO2和CH4的含碳的供体气体，以及选自H2和氩的载体气体；－转移室，它与每个低压加热室以及闸室和淬火室或双功能的闸－淬火室相连；或－闸室和淬火室，它们分别可运动并可以与每个低压加热室相连；或－双功能的闸－淬火室，它是可运动的并可以与每个低压加热室相连；其特征在于，一个或多个低压加热室与供电装置相连，并且设置其用于在具有N2作为供体气体的含氮气体气氛中，在超过800℃的温度和小于100毫巴的压力下产生放电等离子体。
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