[发明专利]激光加工装置及激光加工方法

摘要

激光加工装置通过将激光聚光于加工对象物而沿着切断预定线在加工对象物的内部形成改质区域。激光加工装置具备将激光射出的激光光源、调制由激光光源射出的激光的空间光调制器、及将通过空间光调制器调制后的激光聚光在加工对象物的聚光光学系统。空间光调制器通过将轴棱锥透镜图案作为调制图案来显示，从而以在沿着激光照射方向接近排列的多个位置形成聚光点的方式使激光聚光。

主权项

1.一种激光加工装置，其特征在于，是通过将激光聚光于加工对象物从而沿着切断预定线在所述加工对象物的内部形成改质区域的激光加工装置，具备：将所述激光射出的激光光源；调制由所述激光光源射出的所述激光的相位的空间光调制器；及将通过所述空间光调制器调制后的所述激光聚光于所述加工对象物的聚光光学系统，所述空间光调制器通过将轴棱锥透镜图案作为调制图案来显示，从而以在所述加工对象物的内部在沿着激光照射方向接近排列的多个位置形成聚光点的方式将所述激光聚光，由此形成具有在所述加工对象物的内部的所述多个位置形成的改质光点的改质点，对应于欲形成的所述改质点，调整所述轴棱锥透镜图案的圆环区域的数量，根据所述加工对象物的厚度方向上的改质点形成位置，切换在使调制图案不显示于所述空间光调制器的显示部而在所述加工对象物的内部形成通常的改质点的情况下的激光加工的执行、和在使所述轴棱锥透镜图案显示于所述显示部而在所述加工对象物的内部形成具有在沿着所述激光照射方向接近排列的所述多个位置形成的多个改质光点的纵长的改质点的情况下的激光加工的执行，在显示所述轴棱锥透镜图案的情况下，通过增减作为所述轴棱锥透镜图案的圆环区域的数量的参数数，从而能够增减所述聚光点的数量。