[发明专利]激光加工装置及激光加工方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，

是通过将激光聚光于加工对象物从而沿着切断预定线在所述加工对象物的内部形成改质区域的激光加工装置，

具备：

将所述激光射出的激光光源；

调制由所述激光光源射出的所述激光的相位的空间光调制器；及将通过所述空间光调制器调制后的所述激光聚光于所述加工对象物的聚光光学系统，

所述空间光调制器通过将轴棱锥透镜图案作为调制图案来显示，从而以在所述加工对象物的内部在沿着激光照射方向接近排列的多个位置形成聚光点的方式将所述激光聚光，由此形成具有在所述加工对象物的内部的所述多个位置形成的改质光点的改质点，

对应于欲形成的所述改质点，调整所述轴棱锥透镜图案的圆环区域的数量，

根据所述加工对象物的厚度方向上的改质点形成位置，切换在使调制图案不显示于所述空间光调制器的显示部而在所述加工对象物的内部形成通常的改质点的情况下的激光加工的执行、和在使所述轴棱锥透镜图案显示于所述显示部而在所述加工对象物的内部形成具有在沿着所述激光照射方向接近排列的所述多个位置形成的多个改质光点的纵长的改质点的情况下的激光加工的执行，

在显示所述轴棱锥透镜图案的情况下，通过增减作为所述轴棱锥透镜图案的圆环区域的数量的参数数，从而能够增减所述聚光点的数量。

2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述激光加工装置是沿着所述切断预定线在所述加工对象物的内部形成多个所述改质点，并由多个所述改质点形成所述改质区域的激光加工装置，

所述空间光调制器在沿着所述激光照射方向接近排列的所述多个位置的各个上形成所述改质光点，

多个所述改质光点在所述激光照射方向上构成长条形状的所述改质点。

3.如权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

在所述空间光调制器的所述显示部中，

所述轴棱锥透镜图案具有相对于入射的所述激光位于中心的圆区域、及被划设于所述圆区域的周围并与该圆区域同心的多个所述圆环区域，

在所述圆区域及多个所述圆环区域中，设定成随着从径向外侧朝内侧行进明亮度逐渐变亮。

4.一种激光加工方法，其特征在于，

是通过将激光聚光于加工对象物从而沿着切断预定线在所述加工对象物的内部形成改质区域的激光加工方法，

所述激光加工方法具备将从激光光源射出的所述激光的相位通过空间光调制器调制并将通过所述空间光调制器调制后的所述激光聚光于所述加工对象物的工序，

将所述激光聚光的工序包括通过将轴棱锥透镜图案作为调制图案显示于所述空间光调制器从而以在所述加工对象物的内部在沿着激光照射方向接近排列的多个位置形成聚光点的方式将所述激光聚光，由此形成具有在所述加工对象物的内部的所述多个位置形成的改质光点的改质点，对应于欲形成的所述改质点，调整所述轴棱锥透镜图案的圆环区域的数量的工序，

根据所述加工对象物的厚度方向上的改质点形成位置，切换在使调制图案不显示于所述空间光调制器的显示部而在所述加工对象物的内部形成通常的改质点的情况下的激光加工的执行、和在使所述轴棱锥透镜图案显示于所述显示部而在所述加工对象物的内部形成具有在沿着所述激光照射方向接近排列的所述多个位置形成的多个改质光点的纵长的改质点的情况下的激光加工的执行，

在显示所述轴棱锥透镜图案的情况下，通过增减作为所述轴棱锥透镜图案的圆环区域的数量的参数数，从而能够增减所述聚光点的数量。