[发明专利]光伏元件及其制造方法

摘要

本发明提供一种光伏元件及其制造方法，不使用对人体有害的有机溶剂在硅基板上进行蚀刻并形成棱锥体状凹凸部，且能提高发电效率。所述光伏元件(10)具备：利用各向异性蚀刻在表面形成有多个棱锥体状凹凸部的硅基板(11)、以及在棱锥体状凹凸部上由化学气相沉积法形成的非晶质系硅薄膜(12)～(15)，选择蚀刻条件并用以下的公式定义，形成棱锥体状凹凸部的棱锥体的对角线的平均长度小于5μm。对角线的平均长度＝(2×视野范围的面积/视野范围的棱锥体的顶点数)^0.5。

主权项

一种光伏元件，具备：利用各向异性蚀刻在表面形成有多个棱锥体状凹凸部的硅基板、以及在所述棱锥体状凹凸部上通过化学气相沉积法形成的非晶质系硅薄膜，所述光伏元件的特征在于，由以下的公式定义且形成所述棱锥体状凹凸部的棱锥体的对角线的平均长度小于5μm，对角线的平均长度＝(2×视野范围的面积/视野范围的棱锥体的顶点数)^0.5。