[发明专利]具有二次窗密封的抛光垫

摘要

一种抛光制件，所述抛光制件具有抛光表面及孔，所述孔包括第一区段及第二区段。抛光制件包括向内延伸至孔中的突出部。抛光制件在远离抛光表面的第一表面的侧上包括下部。窗具有位于孔的第一区段中的第一部分及延伸至孔的第二区段中的第二部分。窗具有大体上平行于抛光表面的第二表面。第一黏合剂将突出部的第一表面黏合至窗的第二表面以将窗固定至突出部，且第二黏合剂具有与第一黏合剂不同的材料成分。第二黏合剂横向地位于窗的第二部分与抛光制件的下部之间。

主权项

一种用于化学机械抛光设备的抛光垫，包含：抛光制件，所述抛光制件具有抛光表面及穿过所述抛光制件形成的孔，所述孔包括与所述抛光表面相邻的第一区段及与所述第一区段相邻的第二区段，其中所述抛光制件包括向内延伸至所述孔中的突出部，以使得所述第一区段具有与所述第二区段不同的横向尺寸，所述突出部具有大体上平行于所述抛光表面的第一表面，所述抛光制件在远离所述抛光表面的所述第一表面的侧上包括下部；窗，所述窗具有位于所述孔的所述第一区段中的第一部分及延伸至所述孔的所述第二区段中的第二部分，所述窗具有大体上平行于所述抛光表面的第二表面；第一黏合剂，所述第一黏合剂将所述突出部的所述第一表面黏合至所述窗的所述第二表面，以将所述窗固定至所述突出部；及第二黏合剂，所述第二黏合剂具有与所述第一黏合剂不同的材料成分，所述第二黏合剂横向地位于所述窗的所述第二部分与所述抛光制件的所述下部之间。