[发明专利]利用激光束制造碳烟传感器的方法有效
申请号: | 201480012656.3 | 申请日: | 2014-02-28 |
公开(公告)号: | CN105074421B | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | 卡尔海因茨·维南德;马茨威·青克维奇;迪特尔·托伊施 | 申请(专利权)人: | 贺利氏先进传感器技术有限公司 |
主分类号: | G01N15/06 | 分类号: | G01N15/06;G01N27/22;G01N27/04 |
代理公司: | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张天舒;张杰 |
地址: | 德国克莱*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及制造碳烟传感器的方法,包括以下方法步骤:在电绝缘基底(1)上施加连贯的金属层;用激光束通过蒸发金属层的一些区域来结构化金属涂层,在此产生至少两个相互嵌套的邻接(接触)的电传导性结构(2,3)并且所述电传导性结构(2,3)利用激光束如此空间相互分隔且相互电绝缘,即该传导性结构(2,3)关于其总长度基本并列延伸且在所述区域内紧密并排延伸。本发明也涉及按照根据前述权利要求之一的方法制造的碳烟传感器,其中,该碳烟传感器具有电绝缘基底(1)和作为结构化金属层的至少两个相互空间分隔的且相互嵌套的连贯的电传导性结构(2,3),其中所述传导性结构(2,3)之间的间隙利用激光被烧空,最好该间隙至少在局部区域小于50微米,并且使加热螺旋丝与扩宽的导电层(14)导电接通。 | ||
搜索关键词: | 利用 激光束 制造 传感器 方法 | ||
【主权项】:
1.一种制造碳烟传感器的方法,其包括以下方法步骤:/n在电绝缘基底(1,20)上施加一个连贯的金属层;/n利用激光束通过蒸发所述金属层的一些区域将所述金属层结构化,其中,产生至少两个相互嵌套的、连贯的加热螺旋丝(2,3,42),并且所述加热螺旋丝(2,3,42)利用激光束如此在空间上彼此间隔且相互电隔离,即,所述加热螺旋丝(2,3,42)沿总长度上基本上并列地、并且在该区域内紧密排列地延伸,其中,所述加热螺旋丝之间的间距为小于50μm,并且其中所述碳烟传感器具有连接端和温度传感器,并且所述加热螺旋丝和所述温度传感器共享导线结构的一部分,其中,所述温度传感器的电阻高出加热螺旋丝的至少五倍。/n
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