[发明专利]利用激光束制造碳烟传感器的方法

权利要求书

1.一种制造碳烟传感器的方法，其包括以下方法步骤：

在电绝缘基底(1,20)上施加一个连贯的金属层；

利用激光束通过蒸发所述金属层的一些区域将所述金属层结构化，其中，产生至少两个相互嵌套的、连贯的加热螺旋丝(2,3,42)，并且所述加热螺旋丝(2,3,42)利用激光束如此在空间上彼此间隔且相互电隔离，即，所述加热螺旋丝(2,3,42)沿总长度上基本上并列地、并且在该区域内紧密排列地延伸,其中，所述加热螺旋丝之间的间距为小于50μm,并且其中所述碳烟传感器具有连接端和温度传感器，并且所述加热螺旋丝和所述温度传感器共享导线结构的一部分，其中，所述温度传感器的电阻高出加热螺旋丝的至少五倍。

2.根据权利要求1的方法，其特征是，所述温度传感器具有高出加热螺旋丝的四十至八十倍的电阻。

3.根据权利要求1的方法，其特征是，以预结构化的方式将所述金属层施加在所述电绝缘基底(1,20)上。

4.根据权利要求3的方法，其特征是，至少将用于所述加热螺旋丝(2,3,42)的电接触的、扩宽的导电层(14)预结构化。

5.根据权利要求3的方法，其特征是，将至所述加热螺旋丝(2,3,42)的整个引线(4,5,14)预结构化。

6.根据权利要求1的方法，其特征是，所述激光束以线的形式沿着要产生的加热螺旋丝(2,3,42)的间隔移动经过所述金属层，在此所述金属层沿着所述线蒸发。

7.根据权利要求6的方法，其特征是，所述激光束以蜿蜒线的形式沿着要产生的加热螺旋丝(2,3,42)的间隔移动经过所述金属层，在此所述金属层沿着所述蜿蜒线蒸发。

8.根据权利要求6的方法，其特征是，使在完成结构化的所述加热螺旋丝(2,3,42)之间的距离对应于所述激光束焦斑的有效横截面的直径。

9.根据权利要求1的方法，其特征是，所述加热螺旋丝(2,3,42)沿着其总长度的至少90％并列延伸。

10.根据权利要求9的方法，其特征是，所述加热螺旋丝(2,3,42)沿着其总长度的至少98％并列延伸。

11.根据权利要求1的方法，其特征是，作为电绝缘基底(1,20)，采用金属氧化物基底(1,20)或玻璃基底(20)。

12.根据权利要求11的方法，其特征是，作为电绝缘基底，采用陶瓷Al₂O₃基底或者玻璃层、玻璃陶瓷层或Al₂O₃层。

13.根据权利要求1的方法，其特征是，在所述电绝缘基底(1)的与金属涂层或碳烟传感器对置的一侧，或者在所述加热螺旋丝(2,3,42)旁边，在所述电绝缘基底(1)上设置温度传感器(7)。

14.根据权利要求1的方法，其特征是，在所述加热螺旋丝(2,3,42)结构化之后，使所述加热螺旋丝(2,3,42)的引线(4,5,14)完全地涂覆有由金属氧化物、玻璃或玻璃陶瓷构成的绝缘层(21)，并且所述温度传感器(7)固定在所述绝缘层(21)上。

15.根据权利要求14的方法，其特征是，在所述加热螺旋丝(2,3,42)结构化之后，使所述加热螺旋丝(2,3,42)局部地涂覆有由金属氧化物、玻璃或玻璃陶瓷构成的绝缘层(21)。

16.根据权利要求14的方法，其特征是，所述温度传感器(7)优选借助玻璃焊料来固定。