[发明专利]非晶层极紫外线光刻坯料及用于制造该坯料的方法与光刻系统

摘要

一种集成极紫外线坯料生产系统包括用于将基板置放在真空中的真空腔室；沉积系统，所述沉积系统用于沉积多层堆叠物而不从真空移除基板；以及处理系统，所述处理系统用于处理多层堆叠物上的层，所述层待沉积为非晶金属层。一种用于制造极紫外线掩模坯料的物理气相沉积腔室包括靶材，所述靶材包含与硼合金的钼。一种极紫外线光刻系统包括极紫外线光源；镜，所述镜用于导向来自所述极紫外线光源的光；中间掩模台，所述中间掩模台用于置放具有多层堆叠物的极紫外线掩模坯料，所述多层堆叠物具有非晶金属层；以及晶片台，所述晶片台用于置放晶片。一种极紫外线坯料包括基板；具有非晶金属层的多层堆叠物；以及位于所述多层堆叠物之上的覆盖层。

主权项

一种集成极紫外线坯料生产系统，所述系统包含：真空腔室，所述真空腔室用于将基板置放于真空中；第一沉积系统，所述第一沉积系统用于沉积多层堆叠物，而不将所述基板从所述真空移除，所述多层堆叠物反射极紫外线光；处理系统，所述处理系统用于处理所述多层堆叠物上的层，所述层待沉积作为非晶金属层；以及第二沉积系统，所述第二沉积系统用于沉积额外层，以形成极紫外线掩模坯料，所述额外层包含覆盖层和位于所述覆盖层之上的吸收剂层。