[发明专利]半导体激光元件、集成型半导体激光元件、以及半导体激光元件的制造方法有效
申请号: | 201480008894.7 | 申请日: | 2014-02-18 |
公开(公告)号: | CN105075038B | 公开(公告)日: | 2018-04-10 |
发明(设计)人: | 小林刚 | 申请(专利权)人: | 古河电气工业株式会社 |
主分类号: | H01S5/12 | 分类号: | H01S5/12;H01S5/125 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 王亚爱 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 半导体激光元件具备半导体层叠构造,其包含波导芯层,并具有分布反馈型激光器部和分布布拉格反射部,在所述分布反馈型激光器部中,所述波导芯层具有遍及光谐振器长度方向而连续的长度,并且在所述波导芯层的附近沿着该波导芯层而配置有衍射光栅层,在所述分布布拉格反射部中,所述波导芯层被离散地且周期性地配置,以形成衍射光栅;和电极,其用于向所述分布反馈型激光器部注入电流,所述分布反馈型激光器部使与所述衍射光栅层的周期相应的波长的激光振荡,在所述分布布拉格反射部中所述波导芯层所形成的衍射光栅被设定为具有包含所述激光的波长在内的阻带。由此,能够提供光输出高、且生产时的成品率良好的半导体激光元件。 | ||
搜索关键词: | 半导体 激光 元件 集成 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体激光元件,其特征在于,具备:半导体层叠构造,其包含波导芯层,并具有分布反馈型激光器部和分布布拉格反射部,在所述分布反馈型激光器部中,所述波导芯层具有遍及光谐振器长度方向而连续的长度,并且沿着所述波导芯层而配置有衍射光栅层,在所述分布布拉格反射部中,所述波导芯层被离散地且周期性地配置,以形成衍射光栅;和电极,其用于向所述分布反馈型激光器部注入电流,所述分布反馈型激光器部使与所述衍射光栅层的周期相应的波长的激光振荡,在所述分布布拉格反射部中所述波导芯层所形成的衍射光栅被设定为具有包含所述激光的波长在内的阻带,在所述波导芯层上形成有p型半导体层,在所述p型半导体层上形成有所述衍射光栅层。
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