[发明专利]陶瓷衬底上的多层金属化有效
| 申请号： | 201480007836.2 | 申请日： | 2014-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN105074913B | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | S·阿德勒;R·迪尔施;A·蒂姆 | 申请（专利权）人： | 陶瓷技术有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L23/498 | 分类号： | H01L23/498;H01L21/48 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 卢江;刘春元 |
| 地址： | 德国普*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及用铜在由AlN或Al |
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| 搜索关键词： | 陶瓷 衬底 多层 金属化 | ||
【主权项】：
1.用铜在 由AlN 或 Al2 O3 构成的陶瓷衬底（4）上制造多层金属化层的方法，其中在同一个陶瓷衬底（4）上实现具有拥有较大载流能力的金属化层的高功率区域（1）和具有拥有较小载流能力的金属化层的低功率区域（2），其特征在于应按照顺序执行的以下方法步骤：a) 使用含玻璃的铜基浆料以丝网印刷或者移印方式为高功率区域（1）和低功率区域（2）印上厚度为 20至50 µm 的共同的基底金属化层，b) 通过丝网印刷或者模版印刷通过多次地将不含玻璃成分的铜增厚浆料印到基底金属化层上，使得高功率区域（1）中的基底金属化层增厚，直至300至500 µm的铜总厚度，c) 在 850至950℃在氮气中共同煅烧具有高功率区域（1）和低功率区域（2）的金属化陶瓷衬底（4），d)以机械方式平整高功率区域（1），以实现具有粗糙度 Rz < 5 µm 的平坦表面。
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