[发明专利]多层结构体、电容器元件及其制造方法在审
| 申请号： | 201480007773.0 | 申请日： | 2014-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN105122401A | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 鹤见直明;金武康雄 | 申请（专利权）人： | 罗姆股份有限公司 |
| 主分类号： | H01G4/33 | 分类号： | H01G4/33;C23C14/56 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 何欣亭;张懿 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 多层结构体具备：衬底（10）；配置在衬底（10）上的缓冲层（12）；配置在缓冲层（12）上的下部电极（14）；以及配置在下部电极（14）上并且由氮化物构成的电介质层（16）。而且电容器元件具备：配置在电介质层（16）上的上部电极（18）；与下部电极（14）连接的第1端子电极；以及与上部电极（18）连接的第2端子电极。提供高温稳定性优异的电容器元件及其制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 结构 电容器 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种多层结构体，其特征在于，具备：衬底；配置在所述衬底上的缓冲层；配置在所述缓冲层上的下部电极；以及配置在所述下部电极上并由氮化物构成的电介质层。
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