[发明专利]保护膜形成用膜及保护膜形成用复合片有效
| 申请号： | 201480004970.7 | 申请日： | 2014-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN104937712B | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 佐伯尚哉;山本大辅;高野健 | 申请（专利权）人： | 琳得科株式会社 |
| 主分类号： | H01L23/29 | 分类号： | H01L23/29;C08J5/18;C08L63/00;H01L21/301;H01L23/31 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人： | 谢顺星,张晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种保护膜形成用膜，其在可抑制晶圆的弯曲的同时，可形成可靠度高的保护膜。本发明的保护膜形成用膜具有热固化性，热固化后的玻璃化转变温度为150～300℃，热固化后在23℃的拉伸弹性模量为0.5～10GPa。 | ||
| 搜索关键词： | 保护膜 形成 复合 | ||
【主权项】：
一种保护膜形成用膜，其具有热固化性，其热固化后的玻璃化转变温度为150～260℃，其热固化后在23℃的拉伸弹性模量为2.9～7.9GPa。
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