[发明专利]利用频率扫描干涉仪的形状测量装置

摘要

形状测量装置包括光源部、光分离部、基准镜、光接收部及处理部。光源部用于产生光，并能够改变光的波长。光分离部用于将从光源部产生的光至少分离为基准光及测量光。基准镜用于反射基准光。光接收部用于接收基准光及测量光，上述基准光以借助基准镜来形成基准光程的方式反射，上述测量光以借助形成于基板上并具有光透过性的测量对象物来形成测量光程的方式反射。处理部基于借助光接收部来接收的基准光及测量光之间的光的波长的变化所带来的干涉的变化，来计算测量对象物的形状，并计算测量对象物的第一区域的绝对高度及测量对象物中相对于第一区域的第二区域的相对高度，并将第一区域的绝对高度及第二区域的相对高度相匹配，来计算测量对象物的形状。由此，能够有效地测出测量对象物的形状。

主权项

一种形状测量装置，其中，包括：光源部，用于产生光，并能够改变上述光的波长；光分离部，用于将从上述光源部产生的光至少分离为基准光及测量光；基准镜，用于反射上述基准光；光接收部，用于接收上述基准光及上述测量光，上述基准光以借助上述基准镜来形成基准光程的方式反射，上述测量光以借助形成于基板上并具有光透过性的测量对象物来形成测量光程的方式反射；以及处理部，基于借助上述光接收部来接收的上述基准光及上述测量光之间的上述光的波长的变化所带来的干涉的变化，来计算上述测量对象物的形状，并计算上述测量对象物的第一区域的绝对高度及上述测量对象物中相对于上述第一区域的第二区域的相对高度，并将上述第一区域的绝对高度及上述第二区域的相对高度相匹配，来计算上述测量对象物的形状。