[实用新型]用于安置基板的装置

摘要

本实用新型涉及一种用于安置基板的装置，具有多个布置在水平面内的、分别用于圆盘状基板(3)的支承座(4)，所述装置还具有多个在相邻的支承座(4)之间布置的支架(2、12)，所述支架(2、12)空间上相互分隔并且具有定心侧面(5)，所述定心侧面(5)沿着位于水平面内的圆弧线延伸，其中，多个分别位于支承座(4)侧面的定心侧面(5)构成布置在支承圆(6)上的贴靠位置(7)，用于接触地贴靠所述基板(3)的边缘(3’)的部段。为了进行便于使用的改进而规定，所述定心侧面(5)仅在贴靠位置(7)上与支承圆(6)相切，并且所述定心侧面(5)与所述支承圆(6)的圆心(8)的间距随着距所述贴靠位置(7)越来越远而不断增大。

主权项

一种用于安置基板的装置，具有多个布置在水平面内的、分别被支承圆(6)围绕的、分别用于圆盘状基板(3)的支承座(4)，所述装置还具有多个在相邻的支承座(4)之间布置的支架(2、12)，所述支架(2、12)空间上相互分隔并且具有定心侧面(5)，所述定心侧面(5)分别沿着位于水平面内的圆弧线延伸，其中，多个分别位于支承座(4)侧面且分别配属于相互不同的支架(2、12)的定心侧面(5)各自构成贴靠位置(7)，用于接触地贴靠所述基板(3)的边缘(3’)的部段，其特征在于，多个分别位于支承座(4)侧面的定心侧面(5)沿着相互不同的圆弧线延伸，该圆弧线的半径(R_P)分别大于所述支承圆(6)的半径(R_W)，并且所述定心侧面(5)仅在相应的贴靠位置(7)上与所述支承圆(6)相切。