[实用新型]一种掩膜板有效
| 申请号： | 201420831337.2 | 申请日： | 2014-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN204434719U | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 龚建国;罗武峰;吴俊雄;冉应刚;柯贤军;苏君海;黄亚清;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 邓义华;陈卫 |
| 地址： | 516006 广东省惠州市仲*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩膜板，包括掩膜面，所述掩膜面上形成有一保护膜。所述保护膜为铬碳化合物。该掩膜板的掩膜面形成一保护膜，该保护膜可以覆盖制作掩模板开口时形成的毛刺，则减少基板在对位过程中因为毛刺对基板造成的划伤；同时该掩膜板还具有耐磨性和减摩性，耐磨的特性可以用来保护掩模板在反复对位的过程中因为异物导致的磨损，提高膜层的使用寿命；而减摩的特性主要保证了所镀膜层不会对基板造成划伤和磨损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 | ||
【主权项】：
一种掩膜板，包括掩膜面，其特征在于，所述掩膜面上形成有一保护膜，所述保护膜为铬碳化合物。
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