[实用新型]多源蒸镀装置

摘要

本实用新型公开了一种多源蒸镀装置，旨在提供一种可在近距离处均匀镀膜，并能维持较佳的制造质量、工作效率与生产效率且方便使用的多源蒸镀装置。所述多源蒸镀装置可在工件的加工面上镀膜，所述加工面包括第一面部、第二面部与第三面部，而所述多源蒸镀装置包含中空腔体、蒸镀源机构与遮挡机构。所述中空腔体包括可供所述工件容置的容置空间，所述蒸镀源机构包括膜料单元，所述膜料单元具有可在所述第一面部和所述第二面部上镀膜的第一膜料及可在所述第二面部和所述第三面部上镀膜的第二膜料，所述遮挡机构包括一个可遮挡所述第一膜料与所述第二膜料的其中一个镀膜于所述第二面部上的遮挡件。

主权项

一种多源蒸镀装置，可在一个工件的一个加工面上蒸镀膜层，所述加工面包括第一面部、第二面部与第三面部，而所述多源蒸镀装置包含：    一中空腔体，包括一个可被抽真空且可供所述工件容置的容置空间；    一蒸镀源机构，包括一个位于所述容置空间内且可被加热而朝所述工件的加工面上蒸镀膜层的膜料单元，所述膜料单元具有一个可在所述第一面部与所述第二面部上蒸镀膜层的第一膜料以及一个可在所述第二面部与所述第三面部上蒸镀膜层的第二膜料；及一遮挡机构，包括一个可遮挡所述第一膜料与所述第 二膜料的其中一个蒸镀膜层于所述第二面部上的遮挡件。