[实用新型]一种湿法清洗槽的活动晶圆夹具

摘要

本实用新型公开了一种湿法清洗槽的活动晶圆夹具，设置在清洗槽内，用于将晶圆固定并进行清洗，夹具包括按晶圆轴向设置的二个同步主动滚轴和一个从动滚轴，滚轴二端在清洗槽侧壁转动固定，主动滚轴连接驱动单元，从动滚轴位于二个主动滚轴下方形成倒三角形设置，环绕滚轴径向表面对应设有若干晶圆卡槽，主动、从动滚轴通过各卡槽上托对应晶圆以进行转动清洗，可增加药液的流动空间，提高药液的流动性和冲刷性能，使颗粒容易从夹具上脱离，从而可提升后续晶圆批次的清洗效果，增加良率和产量，并可降低预防性保养的时间。

主权项

一种湿法清洗槽的活动晶圆夹具，设置在所述清洗槽内，用于将晶圆固定并进行清洗，其特征在于，所述夹具包括按晶圆轴向设置的二个同步主动滚轴和一个从动滚轴，所述滚轴二端在所述清洗槽侧壁转动固定，所述主动滚轴连接驱动单元，所述从动滚轴位于二个所述主动滚轴下方形成倒三角形设置，环绕所述滚轴径向表面对应设有若干晶圆卡槽，所述主动、从动滚轴通过各所述卡槽上托对应晶圆以进行转动清洗。