[实用新型]一种湿法清洗槽的活动晶圆夹具

权利要求书

1.一种湿法清洗槽的活动晶圆夹具，设置在所述清洗槽内，用于将晶圆固定并进行清洗，其特征在于，所述夹具包括按晶圆轴向设置的二个同步主动滚轴和一个从动滚轴，所述滚轴二端在所述清洗槽侧壁转动固定，所述主动滚轴连接驱动单元，所述从动滚轴位于二个所述主动滚轴下方形成倒三角形设置，环绕所述滚轴径向表面对应设有若干晶圆卡槽，所述主动、从动滚轴通过各所述卡槽上托对应晶圆以进行转动清洗。

2.根据权利要求1所述的湿法清洗槽的活动晶圆夹具，其特征在于，二个所述主动滚轴在所述清洗槽侧壁外的一延伸端分别通过同步带连接所述驱动单元，并通过晶圆带动所述从动滚轴形成同步转动。

3.根据权利要求2所述的湿法清洗槽的活动晶圆夹具，其特征在于，所述驱动单元为伺服电机，二个所述主动滚轴在所述清洗槽侧壁外的一延伸端分别通过同步带连接所述伺服电机的转轴，并通过晶圆带动所述从动滚轴形成同步转动。

4.根据权利要求1～3任意一项所述的湿法清洗槽的活动晶圆夹具，其特征在于，二个所述主动滚轴对称设于所述从动滚轴的上方两侧。

5.根据权利要求1～3任意一项所述的湿法清洗槽的活动晶圆夹具，其特征在于，所述从动滚轴可在所述主动滚轴的下方设置多个，并与晶圆的下半圆周相接触。

6.根据权利要求1所述的湿法清洗槽的活动晶圆夹具，其特征在于，所述主动滚轴和从动滚轴上的所述卡槽的数量为25个或50个。

7.根据权利要求1～3或6所述的湿法清洗槽的活动晶圆夹具，其特征在于，还包括所述滚轴的转速监控单元，设于所述清洗槽外，并连接所述主动滚轴或从动滚轴。

8.根据权利要求7所述的湿法清洗槽的活动晶圆夹具，其特征在于，所述转速监控单元设于所述主动滚轴或从动滚轴在所述清洗槽侧壁外的其中一侧延伸端。

9.根据权利要求1～3、6或8所述的湿法清洗槽的活动晶圆夹具，其特征在于，所述滚轴具有塑性复合层表面。

10.根据权利要求9所述的湿法清洗槽的活动晶圆夹具，其特征在于，所述滚轴具有塑性防腐涂层表面。