[实用新型]一种用臭氧预处理的晶硅太阳能电池

摘要

本实用新型涉及一种用臭氧预处理的晶硅太阳能电池，包括用于支撑的晶硅基体，晶硅基体包覆在氧化硅薄膜内；沉积在晶硅基体上方氧化硅薄膜上表面的氮化硅减反射膜；栅线分布在晶硅基体上方的正电极，正电极的下端依次穿过氮化硅减反射膜及氧化硅薄膜，并与晶硅基体的上表面接触；附着于晶硅基体下方氧化硅薄膜下表面的铝背场；本实用新型钝化效果好、反射率极低、抗电位诱导衰减性能良好，使用寿命长，光电转化率高，制造成本低。

主权项

一种用臭氧预处理的晶硅太阳能电池，其特征在于，包括：用于支撑的晶硅基体（1），所述晶硅基体（1）包覆在氧化硅薄膜（3）内；沉积在所述晶硅基体（1）上方氧化硅薄膜（3）上表面的氮化硅减反射膜（2）；栅线分布在所述晶硅基体（1）上方的正电极（5），所述正电极（5）的下端依次穿过氮化硅减反射膜（2）及氧化硅薄膜（3），并与所述晶硅基体（1）的上表面接触；附着于所述晶硅基体（1）下方氧化硅薄膜（3）下表面的铝背场（4）。