[实用新型]一种用于快速响应温度测量的薄膜温度传感器有效
| 申请号: | 201420695951.0 | 申请日: | 2014-11-19 |
| 公开(公告)号: | CN204286623U | 公开(公告)日: | 2015-04-22 |
| 发明(设计)人: | 白庆星;景涛;张龙赐;龚星;谷晨;赵嘉;秦舒 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号: | G01K7/02 | 分类号: | G01K7/02 |
| 代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
| 地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种用于快速响应温度测量的薄膜温度传感器,包括基片,所述基片上镀有薄膜热电偶,所述薄膜热电偶的正极和负极通过热接点连接;所述薄膜热电偶的两个外接端分别通过一个焊盘与外接引线连接;所述薄膜热电偶上覆盖有保护层。本实用新型的温度传感器具有高温快速响应温度测量的特点,能够用于1600℃的温度环境测温;薄膜温度传感器的响应时间较快,响应时间为几毫秒;薄膜温度传感器由于体积较小,对测试温场的干扰较小,提高了温度传感器的测试精度,能满足目前快速响应的动态测温需求。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 用于 快速 响应 温度 测量 薄膜 温度传感器 | ||
【主权项】:
一种用于快速响应温度测量的薄膜温度传感器,包括基片(1),其特征在于,所述基片(1)上镀有薄膜热电偶,所述薄膜热电偶的正极(3)和负极(2)通过热接点(5)连接,且所述热接点(5)厚度与所述薄膜热电偶厚度相同;所述薄膜热电偶的两个外接端分别通过一个焊盘(4)与外接引线连接;所述薄膜热电偶上覆盖有保护层(6)。
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