[实用新型]一种改进型高温扩散装置

摘要

本实用新型公开了一种改进型高温扩散装置，旨在提供一种能够提高片内扩散及片间扩散均匀性的改进型高温扩散装置。它包括进气管、扩散炉管、硅片和排废管，所述的进气管和排废管安装至扩散炉管内，所述的进气管与排废管相互平行，所述的硅片置于进气管与排废管之间，所述的进气管上设有若干进气孔，所述的排废管上设有若干排气孔。本实用新型的有益效果是：解决晶体硅太阳能电池扩散制备P·N结时扩散炉内气体的均匀性和流动性，偏磷酸也可以快速地排走，加快工艺废气的排放，减少腐蚀，提高片内、片间扩散的均匀性，从而提高太阳能电池片的方阻均匀性，提高硅太阳能电池转换效率。

主权项

一种改进型高温扩散装置，其特征是，包括进气管(1)、扩散炉管(2)、硅片(3)和排废管(4)，所述的进气管(1)和排废管(4)安装至扩散炉管(2)内，所述的进气管(1)与排废管(4)相互平行，所述的硅片(3)置于进气管(1)与排废管(4)之间，所述的进气管(1)上设有若干进气孔(5)，所述的排废管(4)上设有若干排气孔(6)。