[实用新型]一种改进型高温扩散装置

权利要求书

1.一种改进型高温扩散装置，其特征是，包括进气管(1)、扩散炉管(2)、硅片(3)和排废管(4)，所述的进气管(1)和排废管(4)安装至扩散炉管(2)内，所述的进气管(1)与排废管(4)相互平行，所述的硅片(3)置于进气管(1)与排废管(4)之间，所述的进气管(1)上设有若干进气孔(5)，所述的排废管(4)上设有若干排气孔(6)。

2.根据权利要求1所述的一种改进型高温扩散装置，其特征是，所述排气孔(6)的排数为1-3排，所述每排排气孔(6)上相邻两个排气孔(6)的间距为15-20mm。

3.根据权利要求1所述的一种改进型高温扩散装置，其特征是，所述排气孔(6)的孔径大小为0.6-1.0mm。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种改进型高温扩散装置，其特征是，所述排气孔(6)所在的区域分为三部分，分别为炉口部、炉中部和炉尾部，所述的炉口部远离排废管(4)的出气口处，所述的炉尾部靠近排废管(4)的出气口处，所述的炉中部置于炉口部和炉尾部的中间，所述炉口部的排气孔(6)孔径大于炉中部的排气孔(6)孔径，所述炉中部的排气孔(6)孔径大于炉尾部的排气孔(6)孔径。

5.根据权利要求4所述的一种改进型高温扩散装置，其特征是，所述炉口部的排气孔(6)列数、炉中部的排气孔(6)列数、炉尾部的排气孔(6)列数之间的比例为1∶2∶1。