[实用新型]一种生长大尺寸蓝宝石单晶的加热体结构有效

专利信息
申请号: 201420694381.3 申请日: 2014-11-19
公开(公告)号: CN204325541U 公开(公告)日: 2015-05-13
发明(设计)人: 左洪波;杨鑫宏;张学军;李铁 申请(专利权)人: 哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司
主分类号: C30B17/00 分类号: C30B17/00;C30B29/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 150001 黑龙江*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 实用新型提供了一种生长大尺寸蓝宝石单晶的热场结构。它是一种倒锥形鸟笼状加热体,包括两个半环形铜电极结构、钨棒弯成的倒锥形结构,横向环形钨棒组成的固定结构,纵向排布的钨棒分为六组,每组数量为3~8根,两端分别固定在两个半环铜电极结构上,六组纵向排布的钨棒分为三层,每两组钨棒形成相互平行且共面的形式,六组纵向排布的钨棒形成倒锥形结构,在底部中间围成一个供支柱通过的孔,两个半环形铜电极结构上连接的钨棒之间分别通过横向环形钨棒组成的固定结构固定,纵向的钨棒与横向环形钨棒交接处用钨丝绑紧。本实用新型工艺可控性更好,温场更稳定、温度梯度更大。
搜索关键词: 一种 生长 尺寸 蓝宝石 加热 结构
【主权项】:
一种生长大尺寸蓝宝石单晶的热场结构,其特征在于它是一种倒锥形鸟笼状加热体,包括两个半环形铜电极结构、钨棒弯成的倒锥形结构,横向环形钨棒组成的固定结构,纵向排布的钨棒分为六组,每组数量为3~8根,两端分别固定在两个半环铜电极结构上,六组纵向排布的钨棒分为三层,每两组钨棒形成相互平行且共面的形式,六组纵向排布的钨棒形成倒锥形结构,在底部中间围成一个供支柱通过的孔,两个半环形铜电极结构上连接的钨棒之间分别通过横向环形钨棒组成的固定结构固定,纵向的钨棒与横向环形钨棒交接处用钨丝绑紧。
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