[实用新型]坩埚

摘要

本实用新型旨在解决现有的吹气除杂式的坩埚产生的气泡群过于集中，分布范围小，只能对局部范围除杂、除杂效果差的问题，提供一种坩埚，其包括具有容腔的坩埚本体，容腔的底面之上铺设有透气砖，透气砖为多孔的弥散型结构，透气砖的下表面之上设有若干相互连通的气室，坩埚本体下部的外壁上设有贯穿连通气室的输气孔道；气室的形状为半球形，各气室均匀分布在透气砖上，各气室之间通过半圆柱形的导气槽连通，导气槽的深度小于气室的深度；透气砖的上表面为凹凸不平的结构。本实用新型的有益效果是，用于除杂的气泡群分布范围广，除杂效果好，得出的硅纯度高。

主权项

一种坩埚，包括具有容腔（11）的坩埚本体（1），其特征在于，容腔（11）的底面之上铺设有透气砖（2），透气砖（2）为多孔的弥散型结构，透气砖（2）的下表面之上设有若干相互连通的气室（21），坩埚本体（1）下部的外壁上设有贯穿连通气室的输气孔道（12）。