[实用新型]研磨垫有效
| 申请号： | 201420565878.5 | 申请日： | 2014-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN204108814U | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 钱继君;唐强;张溢钢;马智勇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26;B24B37/22 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种研磨垫，所述研磨垫至少包括：研磨垫底层、研磨垫表层和位于所述研磨垫表层内的沟槽；其中，所述沟槽包括第一沟槽、第二沟槽和第三沟槽；所述第一沟槽位于所述研磨垫表层的中心区域；所述第三沟槽位于所述研磨垫表层的边缘区域；所述第二沟槽位于所述第一沟槽和所述第三沟槽之间；所述第一沟槽的纵截面的形状为设有倒角的U型；所述第三沟槽纵截面的形状为弧度大于180度小于300度的圆弧；所述第二沟槽纵截面的形状为直角U型。在所述研磨垫上设计三种不同的沟槽，有效地改善了研磨液在所述研磨垫不同区域的分布流通及研磨速率不均匀的问题，进而提高了研磨的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 | ||
【主权项】：
一种研磨垫，其特征在于，所述研磨垫至少包括：研磨垫底层、研磨垫表层和位于所述研磨垫表层内的沟槽；其中，所述沟槽包括第一沟槽、第二沟槽和第三沟槽；所述第一沟槽位于所述研磨垫表层的中心区域；所述第三沟槽位于所述研磨垫表层的边缘区域；所述第二沟槽位于所述第一沟槽和所述第三沟槽之间；所述第一沟槽纵截面的形状为设有倒角的U型；所述第三沟槽纵截面的形状为弧度大于180度小于300度的圆弧；所述第二沟槽纵截面的形状为直角U型。
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