[实用新型]应力迁移检测结构有效
| 申请号： | 201420546188.5 | 申请日： | 2014-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN204155926U | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 周凤;胡永锋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型揭示了一种应力迁移检测结构。所述应力迁移检测结构包括第一金属结构及多个第二金属结构，所述多个第二金属结构的一端与所述第一金属结构相连接；每个第二金属结构通过金属插塞连接多个检测线。本实用新型的应力迁移检测结构能够获得更多的检测数据，因此能够有效的获得正确的设计规格，同时也节省了布局空间。 | ||
| 搜索关键词： | 应力 迁移 检测 结构 | ||
【主权项】：
一种应力迁移检测结构，其特征在于，包括：第一金属结构及多个第二金属结构，所述多个第二金属结构的一端均与所述第一金属结构相连接，并且每个第二金属结构通过金属插塞连接多个检测线。
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