[实用新型]应力迁移检测结构有效
| 申请号： | 201420546188.5 | 申请日： | 2014-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN204155926U | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 周凤;胡永锋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 应力 迁移 检测 结构 | ||
1.一种应力迁移检测结构，其特征在于，包括：第一金属结构及多个第二金属结构，所述多个第二金属结构的一端均与所述第一金属结构相连接，并且每个第二金属结构通过金属插塞连接多个检测线。
2.如权利要求1所述的应力迁移检测结构，其特征在于，所述多个检测线相互平行且均垂直于所述第二金属结构。
3.如权利要求2所述的应力迁移检测结构，其特征在于，所述金属插塞与所述检测线的中间位置相连接，所述检测线的两端分别形成子激励端和子检测端。
4.如权利要求1所述的应力迁移检测结构，其特征在于，所述第一金属结构的关键尺寸大于0.15μm。
5.如权利要求1所述的应力迁移检测结构，其特征在于，所述第二金属结构的关键尺寸小于等于0.15μm。
6.如权利要求1所述的应力迁移检测结构，其特征在于，所述第一金属结构呈方形，所述第二金属结构为条形。
7.如权利要求6所述的应力迁移检测结构，其特征在于，所述第一金属结构的四个侧边分别连接一第二金属结构。
8.如权利要求7所述的应力迁移检测结构，其特征在于，四个所述第二金属结构的关键尺寸各不相同。
9.如权利要求1所述的应力迁移检测结构，其特征在于，所述多个金属插塞距离所述第一金属结构的距离各不相同。
10.如权利要求9所述的应力迁移检测结构，其特征在于，每个金属插塞到所述第一金属结构的距离按照设定规格分布。
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