[实用新型]双门拉晶炉有效
申请号: | 201420540885.X | 申请日: | 2014-09-21 |
公开(公告)号: | CN204080176U | 公开(公告)日: | 2015-01-07 |
发明(设计)人: | 陈磊;刘栓红;赵丽萍;钱俊有;张文涛;蔡水占;郭晶晶;张会超;陈永平 | 申请(专利权)人: | 河南鸿昌电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 461500 河南省许昌*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型涉及半导体生产技术领域的设备,名称是双门拉晶炉,它具有架子,架子上安装有可摇摆的炉体,炉体内具有炉腔,所述的炉体是长方体的结构,所述的炉腔也是长方体的空腔,空腔的深度就是长方体的长,拉晶炉的开口处设置有炉门,所述的拉晶炉底部设置第二个开口,第二个开口处铰接有第二个炉门,这样的双门拉晶炉具有使用方便、维修支撑部位方便的优点。 | ||
搜索关键词: | 双门拉晶炉 | ||
【主权项】:
双门拉晶炉,具有架子,架子上安装有可摇摆的炉体,炉体内具有炉腔,所述的炉体是长方体的结构,所述的炉腔也是长方体的空腔,空腔的深度就是长方体的长,拉晶炉的开口处设置有炉门,其特征是:所述的拉晶炉底部设置第二个开口,第二个开口处铰接有第二个炉门。
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