[实用新型]双门拉晶炉有效
申请号: | 201420540885.X | 申请日: | 2014-09-21 |
公开(公告)号: | CN204080176U | 公开(公告)日: | 2015-01-07 |
发明(设计)人: | 陈磊;刘栓红;赵丽萍;钱俊有;张文涛;蔡水占;郭晶晶;张会超;陈永平 | 申请(专利权)人: | 河南鸿昌电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 461500 河南省许昌*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 双门拉晶炉 | ||
技术领域
本实用新型涉及半导体生产技术领域的设备,特别是涉及拉晶炉。
背景技术
拉晶炉是指半导体原料的分子在高温下进行排列整齐的装备,拉晶炉具有架子,架子上安装有可摇摆的炉体,炉体内具有炉腔,所述的炉体是长方体的结构,所述的炉腔也是长方体的空腔,空腔的深度就是长方体的长,也就是说炉腔是较深的;现有技术中,拉晶炉只有一个门,这样在向炉腔里面放置拉晶管时具有安装麻烦的缺点,另外,现有技术中,拉晶炉的底部还往往有支撑拉晶管的支撑部位,这些支撑部位容易损坏,一个门的拉晶炉具有维修支撑部位困难的缺点。
发明内容
本实用新型的目的就是针对上述缺点,提供一种使用方便、维修支撑部位方便的拉晶炉——双门拉晶炉。
本实用新型的技术方案是这样实现的:双门拉晶炉,具有架子,架子上安装有可摇摆的炉体,炉体内具有炉腔,所述的炉体是长方体的结构,所述的炉腔也是长方体的空腔,空腔的深度就是长方体的长,拉晶炉的开口处设置有炉门,其特征是:所述的拉晶炉底部设置第二个开口,第二个开口处铰接有第二个炉门。
进一步地讲,所述的第二开口设置在底部的侧面。
本实用新型的有益效果是:这样的双门拉晶炉具有使用方便、维修支撑部位方便的优点。
附图说明
图1是本实用新型的剖面结构示意图。
图2是本实用新型的有一种情况的结构示意图。
其中:1、架子 2、炉体 3、炉腔 4、炉门 5、第二个炉门。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
如图1所示,双门拉晶炉,具有架子1,架子1上安装有可摇摆的炉体2,炉体2内具有炉腔3,所述的炉体是长方体的结构,所述的炉腔也是长方体的空腔,空腔的深度就是长方体的长,拉晶炉的开口处设置有炉门4,其特征是:所述的拉晶炉底部设置第二个开口,第二个开口处铰接有第二个炉门5。
由于设置第二个炉门5,向炉腔内部放置拉晶管时可以在炉体的两端操作,对炉体的维修也很方便,具有本实用新型的优点。
进一步地讲,所述的第二开口设置在底部的侧面,如图2所示,这样放置材料时更方便。
以上所述仅为本实用新型的具体实施例,但本实用新型的结构特征并不限于此,任何本领域的技术人员在本实用新型的领域内,所作的变化或修饰皆涵盖在本实用新型的专利范围内。
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