[实用新型]双门拉晶炉有效

专利信息
申请号: 201420540885.X 申请日: 2014-09-21
公开(公告)号: CN204080176U 公开(公告)日: 2015-01-07
发明(设计)人: 陈磊;刘栓红;赵丽萍;钱俊有;张文涛;蔡水占;郭晶晶;张会超;陈永平 申请(专利权)人: 河南鸿昌电子有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 461500 河南省许昌*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 双门拉晶炉
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域的设备,特别是涉及拉晶炉。

背景技术

拉晶炉是指半导体原料的分子在高温下进行排列整齐的装备,拉晶炉具有架子,架子上安装有可摇摆的炉体,炉体内具有炉腔,所述的炉体是长方体的结构,所述的炉腔也是长方体的空腔,空腔的深度就是长方体的长,也就是说炉腔是较深的;现有技术中,拉晶炉只有一个门,这样在向炉腔里面放置拉晶管时具有安装麻烦的缺点,另外,现有技术中,拉晶炉的底部还往往有支撑拉晶管的支撑部位,这些支撑部位容易损坏,一个门的拉晶炉具有维修支撑部位困难的缺点。

发明内容

本实用新型的目的就是针对上述缺点,提供一种使用方便、维修支撑部位方便的拉晶炉——双门拉晶炉。

本实用新型的技术方案是这样实现的:双门拉晶炉,具有架子,架子上安装有可摇摆的炉体,炉体内具有炉腔,所述的炉体是长方体的结构,所述的炉腔也是长方体的空腔,空腔的深度就是长方体的长,拉晶炉的开口处设置有炉门,其特征是:所述的拉晶炉底部设置第二个开口,第二个开口处铰接有第二个炉门。

进一步地讲,所述的第二开口设置在底部的侧面。

本实用新型的有益效果是:这样的双门拉晶炉具有使用方便、维修支撑部位方便的优点。

附图说明

图1是本实用新型的剖面结构示意图。

图2是本实用新型的有一种情况的结构示意图。

其中:1、架子    2、炉体   3、炉腔   4、炉门   5、第二个炉门。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图1所示,双门拉晶炉,具有架子1,架子1上安装有可摇摆的炉体2,炉体2内具有炉腔3,所述的炉体是长方体的结构,所述的炉腔也是长方体的空腔,空腔的深度就是长方体的长,拉晶炉的开口处设置有炉门4,其特征是:所述的拉晶炉底部设置第二个开口,第二个开口处铰接有第二个炉门5。

由于设置第二个炉门5,向炉腔内部放置拉晶管时可以在炉体的两端操作,对炉体的维修也很方便,具有本实用新型的优点。

进一步地讲,所述的第二开口设置在底部的侧面,如图2所示,这样放置材料时更方便。

以上所述仅为本实用新型的具体实施例,但本实用新型的结构特征并不限于此,任何本领域的技术人员在本实用新型的领域内,所作的变化或修饰皆涵盖在本实用新型的专利范围内。

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