[实用新型]一种用于物镜成像系统的波像差高精度测量装置

摘要

本实用新型公开了一种物镜成像系统的波像差高精度测量装置，主要包含光源1、待测物镜成像系统10、辅助光学元件2～5、波前传感器6控制系统7～8和数据采集处理系统9。从光源1发出的光依次经过准直镜2、分光镜3、聚焦镜4、待测物镜成像系统10后，入射到标准球面反射镜5反射并原路返回至分光镜3，一部分透射至波前传感器6中，测量反射光所携带的波像差W1。通过控制模块将待测物镜系统10移出，调整标准球面反射镜5的位置，再一次测量反射光所携带的波像差W2。由W1-W2计算得到待测物镜系统的波像差的大小，有效的完成装置系统误差的标定测量并加以校正，提高了波像差测量精度。在本实用新型中，该装置不需要高精度的标准光源，降低了成本，系统结构紧凑，具有简单易于实现等优点。

主权项

一种用于物镜成像系统的波像差检测装置，其特征在于，包含：光源(1)、沿该光源发出光方向依次放置的准直镜(2)、分光镜(3)、聚焦镜(4)和标准球面反射镜(5)，以及数据处理单元(9)、与该数据处理单元(9)分别连接的波前传感器(6)、第一精密调整台(7)和第二精密调整台(8)；所述的光源(1)发出的光经过所述的准直镜(2)成为平行光后入射到所述的分光镜(3)，由分光镜(3)反射后经所述的聚焦镜(4)入射至所述的标准球面反射镜(5)后沿原路返回至分光镜(3)，一部分光透过所述的分光镜(3)被所述的波前传感器(6)接收，最后由所述的数据处理单元(9)处理；所述的第一精密调整台(7)具有五个调节自由度，用于调节待测物镜成像系统(10)的位置和方向，所述的第二精密调整台(8)具有三个调节自由度，用于调节所述的标准球面反射镜(5)的位置和方向。