[实用新型]一种用于物镜成像系统的波像差高精度测量装置

权利要求书

1.一种用于物镜成像系统的波像差检测装置，其特征在于，包含：光源(1)、沿该光源发出光方向依次放置的准直镜(2)、分光镜(3)、聚焦镜(4)和标准球面反射镜(5)，以及数据处理单元(9)、与该数据处理单元(9)分别连接的波前传感器(6)、第一精密调整台(7)和第二精密调整台(8)；

所述的光源(1)发出的光经过所述的准直镜(2)成为平行光后入射到所述的分光镜(3)，由分光镜(3)反射后经所述的聚焦镜(4)入射至所述的标准球面反射镜(5)后沿原路返回至分光镜(3)，一部分光透过所述的分光镜(3)被所述的波前传感器(6)接收，最后由所述的数据处理单元(9)处理；

所述的第一精密调整台(7)具有五个调节自由度，用于调节待测物镜成像系统(10)的位置和方向，所述的第二精密调整台(8)具有三个调节自由度，用于调节所述的标准球面反射镜(5)的位置和方向。

2.根据权利要求1所述的用于物镜成像系统的波像差检测装置，其特征在于，所述待测物镜成像系统(10)是单个成像透镜或由多个光学器件组合的成像系统。

3.根据权利要求1所述的用于物镜成像系统的波像差检测装置，其特征在于，所述的波前传感器(6)是由微透镜阵列和CCD的组合式的哈特曼传感器，或者是基于剪切干涉原理的剪切干涉仪。

4.根据权利要求1所述的用于物镜成像系统的波像差检测装置，其特征在于，所述的波前传感器放置所述的分光镜的反射光一侧，且与其同光轴。

5.根据权利要求1所述的用于物镜成像系统的波像差检测装置，其特征在于，所述的标准球面反射镜(5)的面形误差要低于所述的波前传感器(6)的检测精度。