[实用新型]一种处理溶液槽盖板滴液的气盘

摘要

本实用新型公开了一种处理溶液槽盖板滴液的气盘，包括通气管、吹吸盘、负压孔和气体连接口，所述通气管、吹吸盘、负压孔和气体连接口为一体式结构，所述吹吸盘设置于通气管一端下部，所述吹吸盘底部均布设有若干吹吸孔，所述通气管另一端为气体连接口，靠近所述气体连接口处设有手柄，所述负压孔设置于通气管中部上端，所述负压孔的直径小于气体连接口的直径；所述通气管、负压孔、气体连接口及吹吸孔是相通的。本实用新型通过气盘吹气或吸气，保持盖板干燥、挑拣硅片碎片和调整硅片之间的间距，操作简单，成本低，安全更可靠。

主权项

一种处理溶液槽盖板滴液的气盘，其特征在于：包括通气管（1）、吹吸盘（2）、负压孔（3）和气体连接口（4），所述通气管（1）、吹吸盘（2）、负压孔（3）和气体连接口（4）为一体式结构，所述吹吸盘（2）设置于通气管（1）一端下部，所述吹吸盘（2）底部均布设有若干吹吸孔（8），所述通气管（1）另一端为气体连接口（4），靠近所述气体连接口（4）处设有手柄（5），所述负压孔（3）设置于通气管（1）中部上端，所述负压孔（3）的直径小于气体连接口（4）的直径；所述通气管（1）、负压孔（3）、气体连接口（4）及吹吸孔（8）是相通的。