[实用新型]一种箱式石英坩埚检测装置有效
| 申请号: | 201420491663.3 | 申请日: | 2014-08-29 |
| 公开(公告)号: | CN204151453U | 公开(公告)日: | 2015-02-11 |
| 发明(设计)人: | 王新 | 申请(专利权)人: | 洛阳单晶硅集团有限责任公司 |
| 主分类号: | C30B15/26 | 分类号: | C30B15/26 |
| 代理公司: | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人: | 卢洪方 |
| 地址: | 471000 河南省洛*** | 国省代码: | 河南;41 |
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| 摘要: | 一种箱式石英坩埚检测装置,适用于硅单晶生产中对石英坩埚是否存在裂纹、气泡、沾污、划痕等缺陷的检测。本实用新型所述的检测装置,主要是由箱体(1)、旋转盘(2)、滚轮(3)、支撑架(4)、检测灯(5)、防碰撞玻璃(6)、轴承(8)、不锈钢圆柱(10)、保护套(11)构成;其中两个滚轮(3)通过支撑架(4)平行安装固定在立方形状的箱体(1)下底面上设置的旋转盘(2)上,箱体(1)的后立面上装有一个圆形检测灯(5)。将石英坩埚(7)放置在两个滚轮(3)上,打开检测灯(5),用手转动石英坩埚(7),这时滚轮(3)及旋转盘(2)便随着旋转,便可检测到石英坩埚(7)是否存在缺陷。本实用新型操作简便,高纯洁净,安全可靠,有效的解决了现有检测手段中所存在的不足。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 箱式 石英 坩埚 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种箱式石英坩埚检测装置,其特征是:所述的一种箱式石英坩埚检测装置,由箱体(1)、旋转盘(2)、滚轮(3)、支撑架(4)、检测灯(5)、防碰撞玻璃(6)、轴承(8)、不锈钢圆柱(10)、保护套(11)构成;其中,箱体(1)是边长尺寸为1000mm的立方体,在箱体(1)的下底面上中间位置装有一个旋转盘(2);间距尺寸为150mm~400mm的两个滚轮(3)通过支撑架(4)平行安装固定在旋转盘(2)上;滚轮(3)的两端装有轴承(8),两端的轴承(8)之间采用不锈钢圆柱(10)连接,轴承(8)端部装有保护套(11);在箱体(1)的后立面上设置有一个圆形检测灯(5),检测灯(5)的前方位置装有一块防碰撞玻璃(6)。
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