[实用新型]一种箱式石英坩埚检测装置

说明书

技术领域

本实用新型属于直拉法硅单晶生产检测技术领域，主要涉及一种箱式石英坩埚检测装置。

背景技术

石英坩埚是切克劳斯基法硅单晶生产技术中必不可少的配件，是承载多晶硅的载体。石英坩埚在使用过程中要承载100Kg左右的熔硅，同时还要承受1400~1600℃的高温，受热时间长达50小时左右。随着单晶技术的发展，石英坩埚直径越来越大，承载的多晶硅重量越来越重，受热时间也越来越长。而一旦在单晶拉制过程中石英坩埚出现质量问题，轻者会导致单晶无法正常拉制，严重者硅溶液会从石英坩埚流出，损坏热场、烧坏单晶炉，甚至有危及人身和财产安全的可能。

因此在使用之前必须对石英坩埚做仔细的检查，防止把存在裂纹、气泡、沾污、划痕等缺陷的石英坩埚应用到生产中。传统的检查方法是一名或多名操作员工将石英坩埚举起，对着生产现场日光灯进行检查，发现有异常时将石英坩埚放置到工作台上在手电筒照射下再对异常部位进行仔细检查。这种检查方法的缺点是：（1）随着石英坩埚直径的不断变大，员工操作的难度也越来越大，并且存在不安全因素；（2）该方法能较好的检查石英坩埚内壁存在的缺陷，但对于外壁存在的缺陷不易发现；（3）检查过程中可能会对坩埚造成污染并且工作效率低。

实用新型内容

鉴于现有石英坩埚检测技术中所存在的问题，本实用新型设计了一种箱式石英坩埚检测装置，用以对石英坩埚进行检测，以解决目前检测技术中所存在的几个方面问题，并可以做到操作简单、高纯洁净、安全高效。

为实现上述发明目的，本实用新型所采取的具体技术方案是：一种箱式石英坩埚检测装置，主要是由箱体，旋转盘、滚轮、支撑架、检测灯、轴承、不锈钢圆柱、防碰撞玻璃、保护套构成；其中，箱体为边长尺寸1000mm的立方体；在箱体的下底面上中心位置安装有一个旋转盘，旋转盘可以箱体下底面的中心位置为圆心旋转；间距为150mm～400mm的两个滚轮通过支撑架平行安装固定在旋转盘上，滚轮的两端套有轴承，两端轴承之间采用不锈钢圆柱连接，轴承端部装有用聚乙烯材料制做的保护套；在箱体的后立面上设计有一个圆形检测灯，检测灯前方位置装有一块防碰撞玻璃。所述的一种箱式石英坩埚检测装置，其中旋转盘直径尺寸为500mm～800mm；所述的一种箱式石英坩埚检测装置，其中旋转盘上两个滚轮的直径尺寸为50mm～100mm，长度尺寸为300mm～600mm；所述的一种箱式石英坩埚检测装置，其中滚轮距旋转盘的高度尺寸为100mm～200mm；所述的一种箱式石英坩埚检测装置，其中不锈钢圆柱表面涂有聚乙烯涂层。

本实用新型所述的一种箱式石英坩埚检测装置，通过旋转盘和滚轮的旋转能够很方便的检测到石英坩埚的任何位置，并可将被检测的石英坩埚部位调整到最理想的观察视角，便于观察。本实用新型操作简便，高纯洁净，安全可靠，有效的解决了现有检查方法所存在的不足。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型图1的俯视图；

图3为本实用新型中滚轮的结构示意图；

图中：1、箱体；2、旋转盘；3、滚轮；4、支撑架；5、检测灯；6、防碰撞玻璃；7、石英坩埚；8、轴承；9、聚乙烯涂层；10、不锈钢圆柱；11、保护套。

具体实施方式

下面结合附图给出本实用新型的具体实施方式如下：

如图1、图2、图3所示，本实用新型所述的一种箱式石英坩埚检测装置主要是由箱体1、旋转盘2、滚轮3、支撑架4、检测灯5、防碰撞玻璃6、轴承8、不锈钢圆柱10、保护套11构成；其中，箱体1是边长尺寸为1000mm的立方体，箱体1的前面设有一个可以开关的门，防止灰尘及其它杂质污染；在箱体1的下底面上安装有一个旋转盘2，旋转盘2的直径尺寸为500mm～800mm，旋转盘2可以箱体1下底面的中心位置为圆心旋转；相互间距为150mm～400mm的两个滚轮3通过支撑架4平行安装固定在旋转盘2上，滚轮3的直径尺寸为50mm～100mm，长度尺寸为300mm～600mm；滚轮3的两端装有轴承8，两端轴承8之间采用不锈钢圆柱10连接；在不锈钢圆柱10表面上涂有聚乙烯涂料，轴承8端部装有聚乙烯材料制作的保护套11，这样既能防止石英坩埚7直接与金属接触，又能起到防撞击作用。滚轮3距旋转盘2之间的高度尺寸为100mm～200mm。在箱体1的后立面上设有一个圆形检测灯5，在检测灯5前面20mm～50mm的位置上装有一块防碰撞玻璃6，避免石英坩埚7在放置或旋转过程中碰撞检测灯5。本实用新型在使用时，打开箱体1的门及检测灯5，将石英坩埚7放置在两个滚轮3之上，根据检测需要用手动转动石英坩埚7，这时滚轮3及旋转盘2随着旋转，对着检测灯5便可观察检测到石英坩埚7是否存在裂纹、气泡、沾污、划痕等缺陷。