[实用新型]一种玻璃晶圆腐蚀治具

摘要

本实用新型公开了一种玻璃晶圆腐蚀治具，包括正方形底板、正方形顶板、左侧板、右侧板和后侧板，正方形底板和正方形顶板结构相同中心均设有圆形通孔，正方形顶板的上表面设有把手；左侧板和右侧板的宽度相同，为正方形底板边长的1/3-1/2；后侧板的宽度为正方形底板边长的1/4-1/3；左侧板、右侧板和后侧板的厚度相同为H1，正方形底板和正方形顶板厚度相同为H2，2≤H1:H2≤5；所述左侧板、右侧板和后侧板的内侧均匀设有多个横向贯穿的卡槽。本实用新型造价低，使用效果优于进口治具，可同时腐蚀多个产品，腐蚀液对流效果好，腐蚀速度快，质量高，降低了生产成本。

主权项

一种玻璃晶圆腐蚀治具，其特征在于，包括正方形底板、正方形顶板、左侧板、右侧板和后侧板，所述正方形底板和所述正方形顶板结构相同，中心均设有圆形通孔，所述正方形底板的边缘与其上的圆形通孔边缘距离为2‑5cm；所述正方形顶板的上表面设有把手；所述左侧板和右侧板的宽度相同，均为正方形底板边长的1/3‑1/2；所述后侧板的宽度为正方形底板边长的1/4‑1/3；所述左侧板、右侧板和后侧板的厚度相同为H1，所述正方形底板和正方形顶板厚度相同为H2，2≤H1:H2≤5；所述左侧板、右侧板和后侧板的内侧均匀设有多个横向贯穿的卡槽，所述卡槽与所述正方形底板平行，所述卡槽的截面为矩形，其高度为3‑10mm。