[实用新型]一种玻璃晶圆腐蚀治具

说明书

技术领域

本实用新型具体涉及一种用于玻璃晶圆的腐蚀治具。

背景技术

光学玻璃晶圆主要应用在精密的电子、数码产品、仪器仪表及光学元件等领域，对晶圆的表面要求有极高的平面度、平行度、粗糙度以及打孔的精准度。

在玻璃晶圆的制造过程中，腐蚀工艺也是其中重要的一环。在腐蚀工艺中，需要对玻璃表面进行腐蚀或者对玻璃侧边面进行腐蚀。当对玻璃侧边面进行腐蚀时，玻璃在腐蚀槽中如何放置对腐蚀结果便起到了关键的作用。因此，玻璃腐蚀用治具的制造更显尤为重要。

目前，公司从国外进口的治具成本较高，而且每台治具一次只能放置一个产品，代价太高，而且该治具不够通透，腐蚀液流通不畅，腐蚀效果并不理想。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提出了一种玻璃晶圆腐蚀治具，该治具可同时腐蚀多枚产品、提高腐蚀速度和产品质量。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种玻璃晶圆腐蚀治具，包括正方形底板、正方形顶板、左侧板、右侧板和后侧板，所述正方形底板和所述正方形顶板结构相同，中心均设有圆形通孔，所述正方形底板的边缘与其上的圆形通孔边缘距离为2-5cm；所述正方形顶板的上表面设有把手；所述左侧板和右侧板的宽度相同，均为正方形底板边长的1/3-1/2；所述后侧板的宽度为正方形底板边长的1/4-1/3；所述左侧板、右侧板和后侧板的厚度相同为H1，所述正方形底板和正方形顶板厚度相同为H2，2≤H1:H2≤5；所述左侧板、右侧板和后侧板的内侧均匀设有多个横向贯穿的卡槽，所述卡槽与所述正方形底板平行，所述卡槽的截面为矩形，其高度为3-10mm。

优选的，所述左侧板设置于正方形底板的左边缘前部，所述左侧板、所述正方形底板和所述正方形顶板的边缘平齐，所述右侧板对称设置于另一侧；所述后侧板设于所述正方形底板后边缘的中心。

优选的，H1:H2＝3。

优选的，所述卡槽的高度为8mm。

优选的，所述治具的材质为聚四氟乙烯。

优选的，所述腐蚀治具的前部设有可防止产品从卡槽中滑出的防滑部件。

本实用新型造价低，而且使用效果优于进口产品。

本实用新型与现有技术相比的优势在于：

由原有的单枚产品腐蚀，变为多枚产品同时腐蚀，显著提高产量，降低了生产成本。

同时，本腐蚀治具的结构尽量的简化，底板和顶板上设有的圆形通孔，使腐蚀液对流加快；左侧板、右侧板和后侧板的宽度在保证治具稳定性的同时尽量降低其宽度，增大了腐蚀液对流的程度，提高了腐蚀效果，加快了腐蚀速度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型实施例1所公开的一种玻璃晶圆腐蚀治具的立体结构示意图。

1.正方形底板  2.正方形顶板  3.左侧板  4.右侧板  5.后侧板  6.圆形通孔  7.把手  8.卡槽

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

实施例1.

如图1所示，一种玻璃晶圆腐蚀治具，包括正方形底板1、正方形顶板2、左侧板3、右侧板4和后侧板5，正方形底板和正方形顶板结构相同，中心均设有大的圆形通孔6，正方形底板的边缘与其上的圆形通孔6边缘距离为3cm(也可为2-5cm的其它数值)，这个宽度是为了方便镶嵌后侧板和治具整体的稳定性；

为了防止腐蚀液沾到手上，正方形顶板的上表面设有把手7，便于拿取治具；

左侧板3和右侧板4的宽度相同，结构也相同，对称设置，均为正方形底板边长的1/3(还可以为1/3-1/2)；后侧板的宽度为正方形底板边长的1/4(也可为1/4-1/3)；这两个宽度的限制是为了在保证治具稳定性的同时尽量给腐蚀液的对流留有充足的空间，提高腐蚀液流动性，提高腐蚀效果和腐蚀速度；

左侧板、右侧板和后侧板的厚度相同均为H1，正方形底板和正方形顶板厚度相同为H2，H1:H2＝3(有效区间为2≤H1:H2≤5)；H1大于H2是为了方便设置卡槽，提高承载多个产品时的结构稳定度；

左侧板、右侧板和后侧板的内侧均匀设有多个横向贯穿的卡槽8，卡槽与正方形底板平行，卡槽的截面为矩形，卡槽的高度为8mm(也可为3-10mm之间的其它数字，如5、6mm等)。