[实用新型]石英舟有效
| 申请号： | 201420489217.9 | 申请日： | 2014-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN204179069U | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 梁杭伟;钱大富;廖辉;叶雄新;孙小菩;彭华 | 申请（专利权）人： | 东莞南玻光伏科技有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 523141 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英舟，用于承载硅片，包括：支撑腿、固定在所述支撑腿上的石英框架以及设置在所述石英框架上的第一石英柱和第二石英柱；所述第一石英柱上设置有180个彼此平行且等距的第一石英舟槽，所述第二石英柱上设置有180个彼此平行且等距的第二石英舟槽，所述第一石英舟槽和所述第二石英舟槽对应设置，所述硅片通过所述第一石英舟槽和所述第二石英舟槽被承载在所述石英舟上。这种石英舟通过对应设置的180个第一石英舟槽和180个第二石英舟槽，完成了硅片的承载。相对于传统的100槽的石英舟，这种石英舟单次扩散工序能够完成的硅片数量增多，在不增加时间以及耗能的条件下，将产能提升80％，能够降低耗能。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 | ||
【主权项】：
一种石英舟，用于承载硅片，其特征在于，包括：支撑腿、固定在所述支撑腿上的石英框架以及设置在所述石英框架上的第一石英柱和第二石英柱；所述第一石英柱沿着所述石英舟的长度方向设置，并且所述第一石英柱和所述第二石英柱平行；所述第一石英柱上设置有180个彼此平行且等距的第一石英舟槽，所述第二石英柱上设置有180个彼此平行且等距的第二石英舟槽，所述第一石英舟槽和所述第二石英舟槽对应设置，所述硅片通过所述第一石英舟槽和所述第二石英舟槽被承载在所述石英舟上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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