[实用新型]石英舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造领域，特别是涉及一种扩散工序使用的石英舟。

背景技术

太阳能电池片制造领域中，扩散工序采用高温长时间将杂质原子扩散进硅片中，整体耗能较高。

传统的扩散工序使用的石英舟槽数为100槽，由于石英舟槽数目较少，单次扩散工序能够完成的硅片数量相应较少，扩散工序耗能较高。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种能够降低耗能的扩散工序使用的石英舟。

一种石英舟，用于承载硅片，包括：支撑腿、固定在所述支撑腿上的石英框架以及设置在所述石英框架上的第一石英柱和第二石英柱；

所述第一石英柱沿着所述石英舟的长度方向设置，并且所述第一石英柱和所述第二石英柱平行；

所述第一石英柱上设置有180个彼此平行且等距的第一石英舟槽，所述第二石英柱上设置有180个彼此平行且等距的第二石英舟槽，所述第一石英舟槽和所述第二石英舟槽对应设置，所述硅片通过所述第一石英舟槽和所述第二石英舟槽被承载在所述石英舟上。

在一个实施例中，所述第一石英舟槽的长度与所述第一石英柱的宽度相同，所述第二石英舟槽的长度与所述第二石英柱的宽度的比为1：2～4。

在一个实施例中，所述第一石英舟槽的长度方向与所述第一石英柱的长度方向的夹角为75°～85°。

在一个实施例中，相邻的两个所述第一石英舟槽的间距为2.33mm～2.43mm。

在一个实施例中，每个所述第一石英舟槽的宽度为0.3mm～0.7mm。

这种石英舟通过对应设置的180个第一石英舟槽和180个第二石英舟槽，从而完成了硅片的承载。相对于传统的100槽的石英舟，这种石英舟单次扩散工序能够完成的硅片数量增多，在不增加时间以及耗能的条件下，将产能提升80％，能够降低耗能。

附图说明

图1为一实施方式的石英舟的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。

如图1所示的一实施方式的石英舟，用于承载硅片，包括：支撑腿10、固定在支撑腿10上的石英框架20以及设置在石英框架20上的第一石英柱30和第二石英柱40。

第一石英柱30沿着石英舟的长度方向设置，并且第一石英柱30和第二石英柱40平行。

第一石英柱30上设置有180个彼此平行且等距的第一石英舟槽32，第二石英柱40上设置有180个彼此平行且等距的第二石英舟槽42。

180个第一石英舟槽32和180个第二石英舟槽42对应设置，硅片通过第一石英舟槽32和第二石英舟槽42被承载在石英舟上。

本实施方式中，第一石英舟槽32的长度与第一石英柱30的宽度相同，第二石英舟槽42的长度与第二石英柱42的宽度的比为1：3。

在其他的实施例中，第二石英舟槽42的长度与第二石英柱42的宽度的比可以为1：2～4。

第一石英舟槽32的长度方向与第一石英柱30的长度方向的夹角为75°～85°。

本实施方式中，相邻的两个第一石英舟槽32的间距为2.33mm～2.43mm。对应的，相邻的两个第二石英舟槽42的间距为2.33mm～2.43mm。

本实施方式中，每个第一石英舟槽32的宽度为0.3mm～0.7mm。对应的，每个第二石英舟槽42的宽度为0.3mm～0.7mm。

通过缩短相邻的两个第一石英舟槽32的间距以及每个第一石英舟槽32的宽度，提高了第一石英舟槽32的数量。

这种石英舟中，180个第一石英舟槽32和180个第二石英舟槽42对应设置，从而完成了硅片的承载。相对于传统的100槽的石英舟，这种石英舟单次扩散工序能够完成的硅片数量增多，在不增加时间以及耗能的条件下，将产能提升80％，能够降低耗能。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。