[实用新型]一种可减少沉积物导致坩埚缺陷的排风系统结构有效
申请号: | 201420470841.4 | 申请日: | 2014-08-20 |
公开(公告)号: | CN204022656U | 公开(公告)日: | 2014-12-17 |
发明(设计)人: | 韩东;赵亮;祝立君 | 申请(专利权)人: | 内蒙古欧晶石英有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 锦州辽西专利事务所 21225 | 代理人: | 李辉 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 一种可减少沉积物导致坩埚缺陷的排风系统结构,包括炉前排风装置和设置在石英坩埚上方的大孔遮热板,所述大孔遮热板的中心开孔处设有三根电极,其特殊之处是:所述大孔遮热板的中心开孔直径为350mm0—500mm,在大孔遮热板上放置石英罩,石英罩中心开孔且正对大孔遮热板的中心开孔,在石英罩侧面开设有排风口,所述炉前排风装置的排风口靠近石英罩的排风口并正对该排风口。有益效果是:可以提高产品合格率,避免热量流失,提高熔制效率,加强排风的强度和气流的速度,及时排走电极表面SiO2沉积物,提高产品合格率和品质。 | ||
搜索关键词: | 一种 减少 沉积物 导致 坩埚 缺陷 系统 结构 | ||
【主权项】:
一种可减少沉积物导致坩埚缺陷的排风系统结构,包括炉前排风装置和设置在石英坩埚上方的大孔遮热板,所述大孔遮热板的中心开孔处设有三根电极,其特征是:所述大孔遮热板的中心开孔直径为350—500mm,在大孔遮热板上放置石英罩,石英罩中心开孔且正对大孔遮热板的中心开孔,在石英罩侧面开设有排风口,所述炉前排风装置的排风口靠近石英罩的排风口并正对该排风口。
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