[实用新型]一种可减少沉积物导致坩埚缺陷的排风系统结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种可减少沉积物导致坩埚缺陷的排风系统结构。

背景技术

目前生产石英坩埚熔制机结构中，遮热板材质多采用不锈钢（内通循环水冷却）或是高纯石英板。在坩埚熔制坩埚过程中为了保证热量不散失，遮热板开孔直径一般在270—300mm之间。由于遮热板开孔较小，热量较高，在熔制坩埚过程中不锈钢遮热板经常发生电弧灼烧遮热板现象，导致遮热板上的金属颗粒掉入坩埚内表面后形成黑点，该黑点主要成分为铁元素，在拉单晶过程中会严重影响单晶品质，同时也会引起坩埚析晶等问题，造成坩埚不合格；而高纯石英板虽然避免了杂质掉入，但是成本高，在使用中容易变形甚至炸裂，需要经常更换。

另外现有的熔制机排风系统多安装在隔音墙顶部，距离遮热板较远,排风效果不佳。这导致了在熔制过程中部分沉积在石墨电极表面的SiO₂沉积物不能被及时排走，掉入到坩埚内，在坩埚内表形成白斑、附着物及气泡群。在拉单晶过程中坩埚的白斑、附着物和气泡群极易被硅液侵蚀，造成单晶成品率低，氧含量高等问题。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种可减少沉积物导致坩埚缺陷的排风系统结构，以提高产品合格率。避免热量流失，提高熔制效率，加强排风的强度和气流的速度，可以及时排走电极表面SiO₂沉积物，提高产品合格率和品质。

本实用新型的技术解决方案是:

一种可减少沉积物导致坩埚缺陷的排风系统结构，包括炉前排风装置和设置在石英坩埚上方的大孔遮热板，所述大孔遮热板的中心开孔处设有三根电极，其特殊之处是：所述大孔遮热板的中心开孔直径为350—500mm，在大孔遮热板上放置石英罩，石英罩中心开孔且正对大孔遮热板的中心开孔，在石英罩侧面开设有排风口，所述炉前排风装置的排风口靠近石英罩的排风口并正对该排风口。

炉前排风装置的排风口与石英罩的排风口的距离为20cm-100cm。

所述石英罩的排风口的直径为270—350mm。

本实用新型的有益效果是： 

1、    扩大大孔遮热板开孔直径，避免或减少电弧灼烧遮热板几率，提高产品合格率； 同时在大孔遮热板上方增加石英罩，避免热量流失，提高熔制效率。

2、    炉前排风装置设置在石英罩侧面，加强了排风的强度和气流的速度，可以及时排走电极表面SiO₂沉积物，提高产品合格率和品质。

3、    通过石英罩利用坩埚内热气流将沉积物排出，起到烟筒效应，排出更彻底。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图； 

图2是图1的俯视图。

具体实施方式

如图所示，本实用新型涉及的一种可减少沉积物导致坩埚缺陷的排风系统结构，包括炉前排风装置1和设置在石英坩埚7上方的材质为不锈钢或石英玻璃的大孔遮热板3，所述炉前排风装置1由排风管道、连接在排风管道进风口的排风机构成。所述大孔遮热板3的中心开孔且开孔直径为350mm—500mm，本实施例为420mm。大孔遮热板3的中心开孔处设有三根电极4、5、6，在大孔遮热板3上放置石英罩2，石英罩2可由废弃石英坩埚底部切割而成。石英罩2中心开孔并与大孔遮热板3的中心开孔对正，在石英罩2侧面开设有排风口201，石英罩的排风口201的直径为270mm—350mm，本实施例为300mm。所述炉前排风装置1的排风口101靠近石英罩2的排风口201并正对该排风口，炉前排风装置1的排风口101与石英罩2的排风口201的距离为20cm-100cm，本实施例为50cm。

在石英熔制过程中可以通过石英罩的排风口201向外排风，将S_iO₂蒸汽及沉积物及时抽走。