[实用新型]一种流量测量工具有效

专利信息
申请号: 201420470378.3 申请日: 2014-08-20
公开(公告)号: CN204007749U 公开(公告)日: 2014-12-10
发明(设计)人: 邹迎庆;阮春军 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: G01F11/00 分类号: G01F11/00;G03F7/32
代理公司: 上海光华专利事务所 31219 代理人: 李仪萍
地址: 100176 北京市大兴区大*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型提供一种流量测量工具,所述流量测量工具包括测量槽、插板、盖体、卡扣、密封圈、凹槽和卡口凸起。所述测量槽采用塑料材质,大大减轻了其本身的重量,且可视性强;将所述测量槽通过一插板均等地分割为两部分,且两部分侧板上均设有刻度,可以在显影液喷洒完毕后直接读取刻度,可以直观地发现两根显影液输送管流量的差异,通过微调节就可以达到两显影液输送管流量平衡的最终目的,大大简化了操作步骤,且提高了测量的精确度;将所述测量槽与所述盖体、密封圈配合使用,测量读数时,可以将密封好的测量槽竖立起来读数,进一步提高了测量的精确度。
搜索关键词: 一种 流量 测量 工具
【主权项】:
一种流量测量工具,适于对涂胶显影机中显影液流量均匀性进行测量,所述涂胶显影机包括显影液喷嘴和固定所述显影液喷嘴的固定装置,所述固定装置底部分布设有显影液喷嘴,其特征在于,至少包括:测量槽和插板;所述测量槽至少包括两块与所述插板垂直连接的第一侧板、一块与所述插板垂直连接的底板和两块与所述插板平行的第二侧板,所述第一侧板、底板和第二侧板相互垂直连接;所述插板固定于所述第一侧板的中部,将所述测量槽均等地分割为第一子测量槽和第二子测量槽两部分;所述第一子测量槽和第二子测量槽对应的第一侧板上均标示有刻度。
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