[实用新型]一种流量测量工具有效
| 申请号： | 201420470378.3 | 申请日： | 2014-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN204007749U | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 邹迎庆;阮春军 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01F11/00 | 分类号： | G01F11/00;G03F7/32 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 流量 测量 工具 | ||
1.一种流量测量工具，适于对涂胶显影机中显影液流量均匀性进行测量，所述涂胶显影机包括显影液喷嘴和固定所述显影液喷嘴的固定装置，所述固定装置底部分布设有显影液喷嘴，其特征在于，至少包括：测量槽和插板；
所述测量槽至少包括两块与所述插板垂直连接的第一侧板、一块与所述插板垂直连接的底板和两块与所述插板平行的第二侧板，所述第一侧板、底板和第二侧板相互垂直连接；
所述插板固定于所述第一侧板的中部，将所述测量槽均等地分割为第一子测量槽和第二子测量槽两部分；
所述第一子测量槽和第二子测量槽对应的第一侧板上均标示有刻度。
2.根据权利要求1所述的流量测量工具，其特征在于：还包括：
盖体，所述盖体与所述底板的大小相同；所述盖体四周设置有一端固定于所述盖体上的卡扣；
凹槽，位于所述第一侧板和第二侧板的顶部和插板顶部；
密封圈，置于所述凹槽内，适于密封所述测量槽；
且所述第一侧板和第二侧板上设置有与所述卡扣配合使用的卡扣凸起。
3.根据权利要求1或2所述的流量测量工具，其特征在于：所述刻度沿垂直于所述底板的方向设置，零刻度与所述底板相平齐。
4.根据权利要求2所述的流量测量工具，其特征在于：所述刻度沿平行于所述底板的方向设置，所述第一子测量槽的零刻度与一所述第二侧板相平齐，所述第二子测量槽的零刻度与所述插板相平齐。
5.根据权利要求1或2所述的流量测量工具，其特征在于：所述插板的高度等于所述测量槽的深度。
6.根据权利要求1或2所述的流量测量工具，其特征在于：所述测量槽为透明测量槽。
7.根据权利要求6所述的流量测量工具，其特征在于：所述测量槽为塑料测量槽。
8.根据权利要求2所述的流量测量工具，其特征在于：所述密封圈为橡胶密封圈。
9.根据权利要求1所述的流量测量工具，其特征在于：所述底板的大小大于或等于所述显影液喷嘴所分布区域的大小。
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