[实用新型]一种用于椭偏仪的自动对焦装置有效
| 申请号： | 201420394707.0 | 申请日： | 2014-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN204129299U | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 田晶晶;何丽;刘蕾 | 申请（专利权）人： | 系科光电科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G01B11/06 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 胡志强 |
| 地址： | 201619 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于椭偏仪的自动对焦装置，所述椭偏仪包括工作台，所述自动对焦装置包括光学墙、线性模组和连接架，所述线性模组竖直的设置于所述工作台的一侧，所述光学墙与所述线性模组连接固定、且所述光学墙位于所述工作台与所述线性模组之间，所述连接架的一端在所述线性模组上上下滑动，另一端穿过光学墙后与所述工作台的下端连接。其优点在于：走线可以在后侧进行，不必为走线而困惑，同样零部件数量也会减少，降低了成本。加上线性模组后可以实现自动对焦，这样不仅减少了人工操作的麻烦，而且可使得对焦后的效果更好，精度更高。最重要的是线性模组的长度问题不再会影响载物台的操作平面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 椭偏仪 自动 对焦 装置 | ||
【主权项】：
一种用于椭偏仪的自动对焦装置，所述椭偏仪包括工作台(5)，其特征在于，所述自动对焦装置包括光学墙(1)、线性模组(2)和连接架(3)，所述线性模组(2)竖直的设置于所述工作台(5)的一侧，所述光学墙(1)与所述线性模组(2)连接固定、且所述光学墙(1)位于所述工作台(5)与所述线性模组(2)之间，所述连接架(3)的一端在所述线性模组(2)上上下滑动，另一端穿过光学墙(1)后与所述工作台(5)的下端连接。
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