[实用新型]一种用于椭偏仪的自动对焦装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及椭偏仪技术领域，具体涉及一种用于椭偏仪的自动对焦装置。

背景技术

椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。

自动对焦功能对于椭偏仪的系统性功能完善非常重要。光谱椭偏仪一般采用反射式光路设计，光路经由被测试片反射进入接受光手臂，再经过光纤传输进入光谱仪(探测器)，而光纤孔径又非常之小(直径一般小于1mm)，不同试片的厚度变化或者镀在试片表面膜层厚度的变化都会导致光线无法射入光纤入口，因此，在正式测试之前最好使用自动对焦技术，让载物台载着试片自动移动至正确的位置。现在的技术一般采用手动对焦，或者设计全新的载物台安装在椭偏仪底板上，载物台中内置复杂的移动机构来实现垂直移动，以此来避免标准线性模组的长度过长所引起的载物台操作平面的抬升(载物台操作平面的过高会影响客户的使用方便)，而这种复杂机构的性价比及稳定性一般都会低于线性模组，并且由于其从正面安装，这样导致前端的外露零件较多，而且还存在很多接线不整齐的困扰。

另外，在手动改变光路入射角的椭偏仪结构设计中，光路入射手臂及接受手臂都会连接在光学墙前侧并围绕同一圆心点转动(一般采用轴承作为圆心点，轴承固定在光学墙面的前方或内置位置)，这就使得线性模组没有在光学墙前侧安装的空间，而且安装在前侧也会产生前端外露件多、接线不整齐的情况。

实用新型内容

针对上述提到的现有技术中存在的问题，本实用新型的目的是提供一种结构简单合理、且可实现自动对焦功能的用于椭偏仪的自动对焦装置。

为了实现本实用新型的目的，采用的技术方案如下：

一种用于椭偏仪的自动对焦装置，所述椭偏仪包括工作台，所述自动对焦装置包括光学墙、线性模组和连接架，所述线性模组竖直的设置于所述工作台的一侧，所述光学墙与所述线性模组连接固定、且所述光学墙位于所述工作台与所述线性模组之间，所述连接架的一端在所述线性模组上上下滑动，另一端穿过光学墙后与所述工作台的下端连接。

作为优选的技术方案：所述连接架的形状为“L”形。

作为优选的技术方案：所述线性模组上设置有滑槽，所述连接架上对应的设置有在所述滑槽上滑动的滑块。

作为优选的技术方案：所述光学墙上设置有用于所述连接架上下移动的方形穿孔。

作为优选的技术方案：所述工作台上设置有角度切换件。

本实用新型装置采用一个线性模组，将线性模组和部分连接架安放在光学墙的背面，一部分连接架通过光学墙引入前侧与工作台连接。线性模组的接线以及电机均在后部接线，而且光学墙后侧最终也是一个封闭的结构，这样子形成了装置中的线路不会外显，而且线性模组等一系列零件也全部封锁在封闭的结构中。角度转换件也是通过连接架将其和线性模组连接到一起，形成一个运动机构，从而带动工作台的上下运动，同时，线性模组带动的这个一个整体可以实现自动对焦功能。

本实用新型的有益效果：

此结构将模组安放在光学墙后侧，这样走线可以在后侧进行，而且本身后侧可以被封闭，这样就不必为走线而困惑，同样零部件数量也会减少，降低了成本。另一方面，加上线性模组后可以实现自动对焦，这样不仅减少了人工操作的麻烦，而且可使得对焦后的效果更好，精度更高，配上机器本身功能更加强大，产品的市场竞争力也自然而然的提高。

另外，将线性模组安装在光学墙背面，这样不仅可以错开放置轴承的位置，而且可以避免线性模组的线路外露，使得外部的结构简单，最重要的是线性模组的长度问题不再会影响载物台的操作平面。

附图说明

图1为本实用新型用于椭偏仪的自动对焦装置的立体结构示意图；

图2为图1的左视结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步的描述。

参照图1和图2所示，一种用于椭偏仪的自动对焦装置，椭偏仪包括工作台5。自动对焦装置包括光学墙1、线性模组2和连接架3，线性模组2竖直的设置于工作台5的一侧，光学墙1与线性模组2连接固定、且光学墙1位于工作台5与线性模组2之间，连接架3的一端在线性模组2上上下滑动，另一端穿过光学墙1后与工作台5的下端连接。

光学墙1上设置有用于连接架3上下移动的方形穿孔1-1。工作台5上设置有角度切换件4，用于调制工作台5的角度。