[实用新型]光阻供给系统有效
| 申请号： | 201420381229.X | 申请日： | 2014-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN204009355U | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 叶逸舟;朱晓峥;杨晓松 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种光阻供给系统。包括：光阻容器、光阻泵、光阻供给管道、侦测模块以及分析模块，所述光阻供给管道一端插入到所述光阻容器中，所述光阻供给管道另一端与一光阻喷嘴连接，所述光阻泵设置于所述光阻供给管道上，所述侦测模块设置于光阻容器内以侦测光阻容器中压强的变动，所述分析模块与所述侦测模块连接以根据光阻容器中压强的变动确定光阻喷射情况。本实用新型能够及时的将光阻喷射情况反映出，避免了在异常发生时严重的信息滞后，有效的保证了产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 供给 系统 | ||
【主权项】：
一种光阻供给系统，其特征在于，包括：光阻容器、光阻泵、光阻供给管道、侦测模块以及分析模块，所述光阻供给管道一端插入到所述光阻容器中，所述光阻供给管道另一端与一光阻喷嘴连接，所述光阻泵设置于所述光阻供给管道上，所述侦测模块设置于光阻容器内以侦测光阻容器中压强的变动，所述分析模块与所述侦测模块连接以根据光阻容器中压强的变动确定光阻喷射情况。
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