[实用新型]一种新型21片型石墨舟洗舟花篮有效
| 申请号： | 201420341011.1 | 申请日： | 2014-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN204262015U | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 彭国印;毛振乐;黄治国;张伟;柳杉 | 申请（专利权）人： | 上饶光电高科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;H01L21/673 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 36100 | 代理人： | 杨志宇 |
| 地址： | 334100 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型21片型石墨舟洗舟花篮，即能满足21片型石墨舟的拆分清洗，同时也能满足19片舟的拆分清洗，每个梳齿状凹槽中卡入一片石墨舟片，舟片与舟片间由梳齿状凸处间隔开，而采用的三排不等间距梳齿状凹槽固定石墨舟片的头中尾部使舟片不易弯曲及折断，同时能有效避开石墨舟片上的工艺点，避免工艺点在清洗过程中碰撞导致松动磨损及确保工艺点卡槽内的清洗效果，而底座镂空便于清洗时化学药液的循环流动以确保石墨舟的清洗效果，从而解决19片舟改进为21片舟后无法整舟拆分清洗问题，确保石墨舟清洗后产品镀膜时的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 21 石墨 舟洗舟 花篮 | ||
【主权项】：
一种新型21片型石墨舟洗舟花篮，主要包括三个板，分别是Ⅰ号板（1）、Ⅱ号板（2）、Ⅲ号板（3），三个板均与底座（4）连接，提把（5）与底座（4）连接。
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