[实用新型]一种新型21片型石墨舟洗舟花篮

说明书

技术领域

 本实用新型技术应用于晶体硅太阳能电池片制程中，PECVD工序硅片镀氮化硅膜载体石墨舟的拆分清洗，特别是涉及一种新型石墨舟舟型的拆分清洗花篮。

背景技术

近年来,高效率低成本的太阳能电池是光伏产业的研究热点之一。部分厂家选择将硅片镀氮化硅膜的载体石墨舟由之前的19片舟页改进到21片舟页，单管产量由216片硅片增加到240片硅片。在镀膜过程中，载体石墨舟也会不断的沉积上氮化硅膜，故使用到一定次数后必须进行化学清洗以去除舟体上过多的氮化硅膜，保证硅片镀膜的品质。现有的石墨舟洗舟花篮只能清洗一种类型的石墨舟，而且清洗时容易使舟片弯曲而折断，同时无法避开石墨舟片上的工艺点，无法避免工艺点在清洗过程中碰撞导致松动磨损及无法确保工艺点卡槽内的清洗效果，清洗时化学药液不能循环流动难以确保石墨舟的清洗效果，进而无法确保石墨舟清洗后产品镀膜时的品质。

发明内容

本实用新型的目的是针对上述的不足和缺陷，提供一种新型21片型石墨舟洗舟花篮，采用三排不等间距有21个梳齿状凹槽的板来固定石墨舟页，底座采用镂空设计，保证硅片镀膜的品质。

本实用新型的技术方案是：

一种新型21片型石墨舟洗舟花篮，主要包括三个板，分别是Ⅰ号板、Ⅱ号板、Ⅲ号板，三个板均与底座连接，提把与底座连接。

一种新型21片型石墨舟洗舟花篮，其中：Ⅰ号板、Ⅱ号板、Ⅲ号板均是有21个梳齿状的PVDF凹槽板且规格相同，每个梳齿状凹槽中卡入一片石墨舟片，舟片与舟片间由梳齿状凸处间隔开。

一种新型21片型石墨舟洗舟花篮，其中：底座为镂空底座，便于清洗时化学药液的循环流动以确保石墨舟的清洗效果。

一种新型21片型石墨舟洗舟花篮，其中：Ⅰ号板、Ⅱ号板、Ⅲ号板是按不等间距与底座连接，采用的三排不等间距梳齿状凹槽固定石墨舟片的头中尾部使舟片不易弯曲及折断，同时能有效避开石墨舟片上的工艺点，避免工艺点在清洗过程中碰撞导致松动磨损及确保工艺点卡槽内的清洗效果。

一种新型21片型石墨舟洗舟花篮，其中：底座两端与提把连接，这样形成一个花篮结构，便于清洗操作。    

本实用新型的优点在于：即能满足21片型石墨舟的拆分清洗，同时也能满足19片舟的拆分清洗，每个梳齿状凹槽中卡入一片石墨舟片，舟片与舟片间由梳齿状凸处间隔开，而采用的三排不等间距梳齿状凹槽固定石墨舟片的头中尾部使舟片不易弯曲及折断，同时能有效避开石墨舟片上的工艺点，避免工艺点在清洗过程中碰撞导致松动磨损及确保工艺点卡槽内的清洗效果，而底座镂空便于清洗时化学药液的循环流动以确保石墨舟的清洗效果，从而解决19片舟改进为21片舟后无法整舟拆分清洗问题，确保石墨舟清洗后产品镀膜时的品质。

附图说明

图1为本实用新型的梳齿状凹槽板结构示意图；

图2为本实用新型的梳齿状凹槽板的位置及间距示意图；

图3为本实用新型花篮的俯视图。

附图标记：Ⅰ号板1、Ⅱ号板2、Ⅲ号板3、底座4、提把5。

具体实施方式

实施例1、一种新型21片型石墨舟洗舟花篮，主要包括三个板，分别是Ⅰ号板1、Ⅱ号板2、Ⅲ号板3，三个板均与底座4连接，提把5与底座4连接。

实施例2、一种新型21片型石墨舟洗舟花篮，其中：Ⅰ号板1、Ⅱ号板2、Ⅲ号板3均是有21个梳齿状的PVDF凹槽板且规格相同，每个梳齿状凹槽中卡入一片石墨舟片，舟片与舟片间由梳齿状凸处间隔开。其余同实施例1。

实施例3、一种新型21片型石墨舟洗舟花篮，其中：底座4为镂空底座，便于清洗时化学药液的循环流动以确保石墨舟的清洗效果。其余同实施例1。

实施例4、一种新型21片型石墨舟洗舟花篮，其中：Ⅰ号板1、Ⅱ号板2、Ⅲ号板3是按不等间距与底座4连接，采用的三排不等间距梳齿状凹槽固定石墨舟片的头中尾部使舟片不易弯曲及折断，同时能有效避开石墨舟片上的工艺点，避免工艺点在清洗过程中碰撞导致松动磨损及确保工艺点卡槽内的清洗效果。其余同实施例1。

实施例5、一种新型21片型石墨舟洗舟花篮，其中：底座4两端与提把5连接，这样形成一个花篮结构，便于清洗操作。其余同实施例1。