[实用新型]闭管扩散容器有效
| 申请号： | 201420336437.8 | 申请日： | 2014-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN203941882U | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 胡艳;岳爱文;吕晨;李晶 | 申请（专利权）人： | 武汉电信器件有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/223 | 分类号： | H01L21/223 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 张瑾 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种闭管扩散容器，包括对接石英管、扩散源容器以及外延片夹具；所述对接石英管具有一装载石英管和一密封石英管，所述装载石英管和所述密封石英管之间通过一环形石英套筒连接；所述扩散源容器设于所述装载石英管内，其具有一装载口，所述扩散源容器内装设有扩散源和石棉；所述外延片夹具设于所述装载石英管内，所述外延片夹具内装设有外延片。使用所述对接石英管，可以实现外延片大尺寸扩散；使用扩散源容器和石棉，扩散源不会污染外延片；使用外延片夹具，可以相对固定外延片，还可以降低开管时，气压的冲击，防止外延片破裂；因此，所述闭管扩散容器不仅解决传统闭管扩散的问题，还适合批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 容器 | ||
【主权项】：
一种闭管扩散容器，其特征在于，包括对接石英管、扩散源容器以及外延片夹具；所述对接石英管具有一装载石英管和一密封石英管，所述装载石英管和所述密封石英管之间通过一环形石英套筒连接；所述扩散源容器设于所述装载石英管内，其具有一装载口，所述扩散源容器内装设有扩散源和石棉；所述外延片夹具设于所述装载石英管内，所述外延片夹具内装设有外延片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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